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제품
중국 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장
VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.
주요 제품은탄탈륨 카바이드 코팅 디펙터 링, TaC 코팅 전환 링, TaC 코팅 반달 부품, 탄탈륨 카바이드 코팅 행성 회전 디스크(Aixtron G10), TaC 코팅 도가니; TaC 코팅 링; TaC 코팅된 다공성 흑연; 탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 서셉터; TaC 코팅 가이드 링; TaC 탄탈륨 카바이드 코팅 플레이트; TaC 코팅 웨이퍼 서셉터; TaC 코팅링; TaC 코팅 흑연 커버; TaC 코팅 청크등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.
탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열 충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받아 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되었습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.
주요 특징:
온도 안정성
초고순도
H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성
열 재고에 대한 저항
흑연과의 강한 접착력
컨포멀 코팅 적용 범위
직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)
응용:
웨이퍼 캐리어
유도 가열 서셉터
저항 가열 요소
위성 디스크
샤워기
가이드 링
LED 에피 수신기
분사노즐
마스킹 링
열 차폐
미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:
VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:
| TaC 코팅의 물리적 특성 | |
| 밀도 | 14.3(g/cm3) |
| 특정 방사율 | 0.3 |
| 열팽창계수 | 6.3 10-6/케이 |
| Hardness (HK) | 2000홍콩 |
| 저항 | 1×10-5옴*cm |
| 열 안정성 | <2500℃ |
| 흑연 크기 변화 | -10~-20um |
| 코팅 두께 | ≥20um 일반 값(35um±10um) |
TaC 코팅 EDX 데이터：
TaC 코팅 결정 구조 데이터
| 요소 | 원자퍼센트 | |||
| 백금. 1 | 백금. 2 | 백금. 3 | 평균 | |
| 씨케이 | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| 타 남 | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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TaC 코팅 회전판
VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 회전 플레이트는 뛰어난 TaC 코팅을 자랑합니다. 탁월한 TaC 코팅을 통해 TaC 코팅 회전 플레이트는 기존 솔루션과 차별화되는 탁월한 고온 저항성과 화학적 불활성을 자랑합니다. 우리는 경쟁력 있는 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 가격을 책정하고 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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TaC 코팅판
VeTek Semiconductor의 TaC 코팅판은 뛰어난 기능과 장점을 제공하는 놀라운 제품입니다. 정밀하게 설계되고 완벽하게 설계된 당사의 TaC 코팅 플레이트는 실리콘 카바이드(SiC) 단결정 성장 공정의 다양한 응용 분야에 맞게 특별히 맞춤 제작되었습니다. TaC 코팅 플레이트의 정확한 치수와 견고한 구조로 인해 기존 시스템에 쉽게 통합되어 원활한 호환성이 보장됩니다. 그리고 효율적인 운영. 안정적인 성능과 고품질 코팅은 SiC 결정 성장 응용 분야에서 일관되고 균일한 결과에 기여합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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CVD TaC 코팅 커버
VeTek Semiconductor가 제공하는 CVD TaC 코팅 커버는 까다로운 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 고도로 전문화된 구성 요소입니다. 고급 기능과 탁월한 성능을 갖춘 당사의 CVD TaC 코팅 커버는 몇 가지 주요 이점을 제공합니다. 당사의 CVD TaC 코팅 커버는 성공에 필요한 보호 및 성능을 제공합니다. 우리는 귀하와의 잠재적인 협력을 모색하기를 기대하고 있습니다!
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TaC 코팅 유성 서셉터
VeTek Semiconductor'TaC 코팅 유성 서셉터는 Aixtron 에피택시 장비를 위한 탁월한 제품입니다. 견고한 TaC 코팅은 뛰어난 고온 저항성과 화학적 불활성을 제공합니다. 이 독특한 조합은 까다로운 환경에서도 안정적인 성능과 긴 서비스 수명을 보장합니다. VeTek은 고품질 제품을 제공하고 경쟁력 있는 가격으로 중국 시장에서 장기적인 파트너 역할을 하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
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TaC 코팅 받침대 지지판
VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 받침대 지지 플레이트는 반도체 에피택시 공정의 특정 요구 사항을 충족하도록 설계된 고정밀 제품입니다. TaC 코팅, 고온 저항성 및 화학적 불활성을 갖춘 당사 제품은 고품질의 고품질 EPI 레이어를 생산할 수 있도록 지원합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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중국의 전문 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.
