탄탈륨 카바이드 코팅

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

주요 제품은 탄탈륨 카바이드 코팅 디펙터 링, TaC 코팅 전환 링, TaC 코팅 반달 부품, 탄탈륨 카바이드 코팅 행성 회전 디스크(Aixtron G10), TaC 코팅 도가니입니다. TaC 코팅 링; TaC 코팅된 다공성 흑연; 탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 서셉터; TaC 코팅 가이드 링; TaC 탄탈륨 카바이드 코팅 플레이트; TaC 코팅 웨이퍼 서셉터; TaC 코팅링; TaC 코팅 흑연 커버; TaC Coated Chunk 등 순도 5ppm 이하로 고객의 요구사항을 충족시킬 수 있습니다.

TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받고 있으며, 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되고 있습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.

VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

TaC 코팅 EDX 데이터

TaC 코팅 결정 구조 데이터

요소	원자퍼센트
	백금. 1	백금. 2	백금. 삼	평균
씨케이	52.10	57.41	52.37	53.96
타 남	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC 코팅척 TaC 코팅 유성디스크 TaC 코팅판 TaC 코팅 회전판 TaC 코팅 서셉터 CVD TaC 코팅 커버 CVD TaC 코팅링 TaC 코팅판

실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수:

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도	3.21g/cm³
경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640 J·kg-1·K-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열 전도성	300W·m-1·K-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K-1

주요 제품

회사 소개

2016년에 설립된 VeTek Semiconductor Technology Co., LTD는 반도체 산업용 첨단 코팅 재료를 공급하는 선도적인 기업입니다. 중국과학원 재료연구소 출신의 전문가였던 당사의 설립자는 업계를 위한 최첨단 솔루션 개발에 중점을 두고 회사를 설립했습니다.

당사의 주요 제품은 다음과 같습니다.CVD 실리콘 카바이드(SiC) 코팅, 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅, 벌크 SiC, SiC 분말, 고순도 SiC 소재. 주요 제품은 SiC 코팅 흑연 서셉터, 예열 링, TaC 코팅 전환 링, 반달 부품 등이며 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

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