중국 실리콘 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수:

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도	3.21g/cm³
경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640 J·kg-1·K-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m-1·K-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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실리콘 카바이드 웨이퍼 척

중국 내 실리콘 카바이드 웨이퍼 척 제품의 선도적인 제조업체 및 공급업체인 VeTek Semiconductor의 실리콘 카바이드 웨이퍼 척은 탁월한 고온 저항, 화학적 부식 저항 및 열충격 저항으로 에피택시 성장 공정에서 대체할 수 없는 역할을 합니다. 추가 상담을 환영합니다.

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실리콘 카바이드 샤워 헤드

VeTek Semiconductor는 중국의 실리콘 카바이드 샤워 헤드 제품의 선도적인 제조업체 및 공급업체입니다. SiC 샤워 헤드는 우수한 고온 내성, 화학적 안정성, 열 전도성 및 우수한 가스 분배 성능을 갖추고 있어 균일한 가스 분배를 달성하고 필름 품질을 향상시킬 수 있습니다. 따라서 화학기상증착(CVD)이나 물리기상증착(PVD) 공정 등 고온 공정에 주로 사용된다. 추가 상담을 환영합니다.

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실리콘 카바이드 씰 링

중국의 전문 실리콘 카바이드 씰 링 제품 제조업체 및 공장인 VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 씰 링은 우수한 내열성, 내식성, 기계적 강도 및 열 전도성으로 인해 반도체 공정 장비에 널리 사용됩니다. 특히 CVD, PVD, 플라즈마 에칭과 같은 고온 및 반응성 가스를 포함하는 공정에 적합하며, 반도체 제조 공정에서 핵심 소재 선택입니다. 추가 문의를 환영합니다.

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SiC 코팅 웨이퍼 홀더

VeTek Semiconductor는 중국의 SiC 코팅 웨이퍼 홀더 제품 전문 제조업체이자 리더입니다. SiC 코팅 웨이퍼 홀더는 반도체 공정의 에피택시 공정용 웨이퍼 홀더입니다. 웨이퍼를 안정화시키고 에피택시층의 균일한 성장을 보장하는 대체불가 장치입니다. 추가 상담을 환영합니다.

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에피 웨이퍼 홀더

VeTek Semiconductor는 중국의 전문 Epi 웨이퍼 홀더 제조업체 및 공장입니다. Epi Wafer Holder는 반도체 공정 중 Epitaxy 공정을 위한 웨이퍼 홀더입니다. 웨이퍼를 안정화하고 에피택셜 층의 균일한 성장을 보장하는 핵심 도구입니다. MOCVD, LPCVD 등 Epitaxy 장비에 널리 사용됩니다. 에피택시 공정에서는 대체할 수 없는 장치입니다. 추가 상담을 환영합니다.

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Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어

중국의 전문 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 제품 제조업체이자 혁신업체인 VeTek Semiconductor의 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어는 AIXTRON 장비에 사용되는 웨이퍼 캐리어로 주로 반도체 공정의 MOCVD 공정에 사용되며 특히 고온, 고정밀에 적합합니다. 반도체 가공 공정. 캐리어는 층 증착 공정에 필수적인 MOCVD 에피택셜 성장 중에 안정적인 웨이퍼 지지와 균일한 필름 증착을 제공할 수 있습니다. 추가 상담을 환영합니다.

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중국의 전문 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.