중국 실리콘 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수:

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도	3.21g/cm³
경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640 J·kg-1·K-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m-1·K-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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CVD SiC 코팅 스커트

VeTek Semiconductor는 중국의 CVD SiC 코팅 및 TAC 코팅 분야의 선두 제조업체이자 혁신자이자 리더입니다. 수년간 CVD SiC 코팅 스커트, CVD SiC 코팅 링, CVD SiC 코팅 캐리어 등 다양한 CVD SiC 코팅 제품에 주력해 왔습니다. VeTek Semiconductor는 맞춤형 제품 서비스와 만족스러운 제품 가격을 지원하며 앞으로도 많은 기대 부탁드립니다. 상의.

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UV LED 에피 서셉터

VeTek Semiconductor는 중국의 선도적인 반도체 제품 제조업체이자 리더로서 수년 동안 UV LED Epi Susceptor, Deep-UV LED Epitaxis Susceptor, SiC Coating Susceptor, MOCVD Susceptor 등과 같은 다양한 유형의 Suceptor 제품에 주력해 왔습니다. VeTek Semiconductor는 반도체 산업에 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 파트너가 되기를 진심으로 기대합니다.

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CVD SiC 코팅 배플

Vetek Semiconductor의 CVD SiC 코팅 배플은 주로 Si Epitaxy에 사용됩니다. 일반적으로 실리콘 확장 배럴과 함께 사용됩니다. CVD SiC 코팅 배플의 고유한 고온 및 안정성을 결합하여 반도체 제조 시 공기 흐름의 균일한 분포를 크게 향상시킵니다. 우리는 우리 제품이 귀하에게 첨단 기술과 고품질 제품 솔루션을 제공할 수 있다고 믿습니다.

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CVD SiC 흑연 실린더

Vetek Semiconductor의 CVD SiC 흑연 실린더는 반도체 장비의 중추적인 역할을 하며 반응기 내에서 고온 및 압력 설정에서 내부 구성 요소를 보호하는 보호 차폐 역할을 합니다. 화학 물질과 극심한 열로부터 효과적으로 보호하여 장비 무결성을 보존합니다. 탁월한 내마모성 및 내부식성을 통해 까다로운 환경에서도 수명과 안정성을 보장합니다. 이러한 커버를 활용하면 반도체 장치 성능이 향상되고 수명이 연장되며 유지 관리 요구 사항 및 손상 위험이 완화됩니다. 문의해 주셔서 감사합니다.

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CVD SiC 코팅 노즐

Vetek Semiconductor의 CVD SiC 코팅 노즐은 반도체 제조 중 탄화규소 재료를 증착하기 위한 LPE SiC 에피택시 공정에 사용되는 중요한 구성 요소입니다. 이러한 노즐은 일반적으로 열악한 처리 환경에서도 안정성을 보장하기 위해 고온 및 화학적으로 안정적인 탄화규소 소재로 만들어집니다. 균일한 증착을 위해 설계된 이 제품은 반도체 응용 분야에서 성장한 에피택셜 층의 품질과 균일성을 제어하는 데 핵심적인 역할을 합니다. 귀하와의 장기적인 협력을 기대합니다.

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CVD SiC 코팅 보호기

Vetek Semiconductor는 LPE SiC 에피택시에 사용되는 CVD SiC 코팅 보호제를 제공합니다. "LPE"라는 용어는 일반적으로 저압 화학 기상 증착(LPCVD)의 저압 에피택시(LPE)를 의미합니다. 반도체 제조에서 LPE는 단결정 박막 성장을 위한 중요한 공정 기술로, 실리콘 에피택셜 층이나 기타 반도체 에피택셜 층을 성장시키는 데 종종 사용됩니다. 더 많은 질문이 있으면 주저하지 말고 저희에게 연락하십시오.

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중국의 전문 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.