핫 존 흑연 히터

VeTek Semiconductor Hot Zone 흑연 히터는 고온 용광로 내에서 발견되는 극한 조건을 처리하도록 설계되었습니다. 히터는 아래 나열된 특정 제품 기능에 따라 고온 처리에서 일반적으로 발생하는 가혹한 환경을 견딜 수 있습니다.

균일한 온도 분포: Hot Zone 흑연히터는 고정밀 소재선택과 정밀가공기술의 완벽한 결합으로 균일한 발열특성이 우수합니다. 이러한 균일성은 전체 가열 표면에 걸쳐 온도의 원활한 분포를 보장하고 열 구배로 인한 고르지 않은 웨이퍼 처리를 효과적으로 줄여 제품 수율과 장비 성능 일관성을 향상시킵니다.

우수한 내식성: Hot Zone용 흑연히터는 고온 반도체 제조공정에서 발생하는 각종 부식성 가스 및 화학물질에 강한 저항성을 나타냅니다. 흑연 재료의 자연적인 불활성으로 인해 흑연 히터는 혹독한 환경에서 장기적인 안정성을 유지하여 오염 위험을 크게 줄이고 장비의 서비스 수명을 연장할 수 있습니다.

우수한 항산화 성능: 기존의 흑연재료에 비해 Hot Zone 흑연히터는 여전히 고온에서 우수한 항산화 능력을 가지고 있습니다. 이 기능은 고온 처리 중에 히터 표면의 산화 열화를 방지하고 처리 챔버에서 입자 오염이 발생하는 것을 방지하여 장비의 지속적인 효율적인 작동을 보장하는 데 중요합니다.

매우 높은 화학적 순도: 당사의 흑연히터는 엄격한 공정을 거쳐 화학적 순도가 매우 높은 수준에 도달하여 반도체 공정 환경에 유해한 불순물이 유입되는 것을 효과적으로 방지합니다. 이러한 순도는 정밀 반도체 재료의 무결성을 보호하고 예상되는 전기적 및 광학적 특성을 충족하는 장치를 생산하는 데 중요합니다.

높은 기계적 강도와 안정성: VeTekSemi의 Hot Zone 흑연히터는 기계적 강도와 치수 안정성이 뛰어나 고온 작동 조건에서도 구조적 무결성을 유지합니다. 빈번한 열 주기 또는 심한 기계적 응력에 직면하더라도 Hot Zone용 흑연 히터는 견고성을 유지하고 열악한 반도체 처리 환경에 견고하고 안정적인 지원을 제공합니다.

게다가 VeTeksemi는 다양한 반도체 제조 공정의 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 맞춤형 크기와 흑연 히터 구성을 제공합니다. ~와 같은SIC 세라믹 코팅 흑연히터、VEECO MOCVD 히터등  VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 고급 맞춤형 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다.