실리콘 카바이드 웨이퍼 척

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 웨이퍼 척은 실리콘 카바이드 소재의 우수한 특성을 사용하여 반도체 생산, 특히 극도로 높은 정밀도와 신뢰성이 요구되는 반도체 공정의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.

반도체 가공공정에서는,실리콘 카바이드우수한 고온 저항성(최대 1400°C에서 안정적으로 작동 가능), 낮은 전도성(SiC는 상대적으로 낮은 전도성(일반적으로 10^)을 가짐)^-3S/m) 및 낮은 열팽창 계수(약 4.0 × 10^^-6/°C)는 필수적이고 중요한 재료이며 특히 실리콘 카바이드 웨이퍼 척 제조에 적합합니다.

동안에피택셜 성장 과정, 반도체 재료의 얇은 층이 기판에 증착되므로 균일하고 고품질의 필름 증착 층을 보장하기 위해 웨이퍼의 절대적인 안정성이 필요합니다. SiC 진공 척은 웨이퍼의 움직임이나 변형을 방지하기 위해 견고하고 일관된 진공 유지를 생성하여 이를 달성합니다.

실리콘 카바이드 웨이퍼 척은 열충격에 대한 저항력도 뛰어납니다. 반도체 제조에서는 급격한 온도 변화가 흔히 발생하며, 이러한 변동을 견딜 수 없는 재료는 깨지거나 구부러지거나 파손될 수 있습니다. 탄화규소는 열팽창 계수가 낮고 급격한 온도 변화에도 모양과 기능을 유지할 수 있어 에피택시 공정 중에 웨이퍼가 이동이나 정렬 오류 없이 안전하게 유지되도록 보장합니다.

더욱이,에피택시 공정종종 반응성 가스 및 기타 부식성 화학 물질이 포함됩니다. SiC 웨이퍼 척의 화학적 불활성 덕분에 이러한 열악한 환경의 영향을 받지 않고 성능을 유지하고 서비스 수명을 연장할 수 있습니다. 이러한 화학적 내구성은 웨이퍼 척 교체 빈도를 줄일 뿐만 아니라 여러 생산 주기에 걸쳐 일관된 제품 성능을 보장하여 반도체 제조 공정의 전반적인 효율성과 비용 효율성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

VeTek Semiconductor는 중국 내 실리콘 카바이드 웨이퍼 척 제품의 선도적인 제조업체 및 공급업체입니다. 다양한 유형의 Chuck 제품을 제공할 수 있습니다.다공성 SiC 세라믹 척, 다공성 SiC 진공척, 다공성 세라믹 진공 척그리고TaC 코팅척VeTek Semiconductor는 반도체 산업에 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다.

SEM 데이터 CVDSIC 필름 결정 구조：

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