실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터

VeTek 반도체 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터흑연의 우수한 전기 및 열 전도성과 실리콘 카본 세라믹 코팅의 고온 저항성, 내식성 및 내마모성을 결합하여 열악한 반도체 제조 환경을 위해 설계되었습니다. 

실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터주로 진공코팅(증발) 장비에 사용되며 일반적으로 사용되는 방식으로는 PCD(Plasma Chemical Drying)와 PVD(Physical Vapor Deposition) 방식이 있다. 이 제품은 반도체 산업의 기술 발전을 촉진하고 생산 효율성을 높이는 데 중요한 역할을 해왔습니다.우리는 진심으로 당신과의 추가 협력을 기대합니다.

실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터의 재질 및 구조적 특징은 다음과 같습니다:

흑연 기판: 흑연은 열전도율이 높고 열팽창계수가 낮은 것으로 알려져 있습니다. 온도 변화에 빠르게 대응하고 고온에서도 구조적 안정성을 유지할 수 있습니다.

실리콘 카본 세라믹 코팅: SiC 코팅은 화학기상증착법이나 기타 첨단 공정을 통해 흑연 표면에 균일하게 코팅됩니다. SiC는 매우 높은 경도와 화학적 내식성을 갖고 있어 고온 산화 및 부식 환경으로부터 흑연 기판을 보호할 수 있습니다.

실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터의 특수 제품 구조 설계에 따라 결정됩니다.반도체 공정 공정에서 본 제품의 대체 불가능한 제품 장점:

효율적이고 균일한 가열:

열전도율: 흑연의 높은 열전도율로 히터가 원하는 온도에 빠르게 도달 및 유지가 가능하며, SiC 코팅으로 열의 균일한 분포를 보장합니다. 이는 급속 열 처리(RTP) 및 화학 기상 증착(CVD)과 같이 정밀한 온도 제어가 필요한 반도체 공정에 특히 중요합니다.

온도 균일성: 균일한 열 분포를 통해 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터는 열 응력과 온도 구배를 효과적으로 줄여 가열 공정 전반에 걸쳐 반도체 웨이퍼의 일관성과 품질 안정성을 보장합니다.

부식 방지 보호:

내화학성: SiC 코팅의 화학적 내식성은 부식성 가스 및 화학적 환경에서도 히터가 안정적으로 오랫동안 작동할 수 있도록 하여 흑연 기판의 손상을 방지합니다. 이 기능은 화학 기상 증착(CVD) 및 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)과 같은 공정에서 특히 중요합니다.

산화 저항: 고온에서 SiC 코팅은 흑연 기재의 산화를 방지하고 히터의 수명을 연장하며 장비 유지 관리 빈도와 비용을 줄일 수 있습니다.

입자 오염 감소:

표면 안정성: SiC 코팅은 내마모성 뿐만 아니라, 열주기나 화학반응으로 인해 소재 표면에서 파티클이 떨어지는 것을 방지하여 반도체 제조 시 발생할 수 있는 파티클 오염의 위험을 줄이고, 고청정 공정 환경을 보장합니다.

프로세스 신뢰성 및 효율성 향상:

긴 수명의 디자인: 흑연의 기계적 강도와 SiC 코팅의 내마모성이 결합되어 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터는 가혹한 공정 조건에서도 장기간 고효율 작동을 유지할 수 있어 장비의 전반적인 신뢰성이 크게 향상됩니다.

효율적인 에너지 활용: 흑연의 높은 열전도율과 SiC 코팅의 높은 온도 안정성으로 히터의 에너지 소비를 줄이고 온도 제어 정확도를 향상시켜 반도체 생산의 전반적인 효율성을 향상시킵니다.

기본 물리적 특성실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터:

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