웨이퍼 척
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웨이퍼 척

Vetek Semiconductor의 웨이퍼 척은 반도체 생산에서 중추적인 역할을 하며, 빠른 고품질 출력을 가능하게 합니다. 자체 제조, 경쟁력 있는 가격 및 강력한 R&D 지원을 통해 Vetek Semiconductor는 정밀 부품에 대한 OEM/ODM 서비스에 탁월합니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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제품 설명

Vetek Semiconductor는 전문 제조업체로서 귀하에게 SiC 코팅 웨이퍼 척을 제공하고자 합니다.

Vetek Semiconductor는 반도체 장치용 모든 부품의 개발 및 제조에 적용되는 ISO9001 인증을 보유하고 있습니다. 이러한 부품에는 공정 장비, 증착 장비, 검사 장비, 반도체 웨이퍼 척, 유량계, 챔버, 플레이트, 블록, 샤프트, 롤러 등의 가압 경화 시스템 등이 포함됩니다. 5. Veeco는 Aixtron의 파트너로서 세계 10대 기업입니다. 장비 제조업체), Vetek Semiconductor는 세계 최대 반도체 시장인 미국의 최고 반도체 장비 제조업체에 반도체 정밀 부품을 공급합니다.

Vetek Semiconductor의 웨이퍼 척은 반도체 웨이퍼 생산 공정 장비의 웨이퍼 최종 검사 장비의 단계별 구성 요소입니다. 체계적인 품질관리 및 검사시스템을 통해 신속하고 고품질이며 경쟁력 있는 생산을 실현하고 있습니다. 생산 인프라의 전략적 통합과 소재, 부품, 모듈, 장비 분야의 국내외 전문 제조업체와의 파트너십을 통해 비용 최적화를 달성합니다.

Vetek Semiconductor의 반도체 웨이퍼 척은 웨이퍼 검출 장비에 사용되며, 진공 웨이퍼 척의 평탄도가 3μm 이하가 되도록 고정밀 가공 방법과 설계 기술을 사용합니다. 이러한 세심한 접근 방식은 웨이퍼 검사에서 탁월한 성능과 정확성을 보장합니다.

Vetek Semiconductor의 핵심 장점:

1. 자체 공장에서 생산

2. 정직한 가격으로 직접 생산/유통합니다.

3. 내부연구소에서는 품질향상과 개발지원을 제공하며, 부품 국산화를 위한 기업 및 국가 연구지원사업에 적극 참여하고 있습니다.

4. OEM / ODM


CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산 일반적인 값
결정 구조 FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도 3.21g/cm³
경도 비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기 2~10μm
화학적 순도 99.99995%
열용량 640 J·kg-1·K-1
승화 온도 2700℃
굴곡강도 415MPa RT 4점
영률 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열 전도성 300W·m-1·K-1
열팽창(CTE) 4.5×10-6K-1


생산 상점:


반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요:


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