실리콘 카바이드 세라믹 코팅

베텍 반도체 실리콘 카바이드 세라믹 코팅매우 단단하고 내마모성이 뛰어난 탄화규소(SiC) 소재를 사용하여 우수한 화학적 내식성과 고온 안정성을 제공하는 고성능 보호 코팅입니다. 이러한 특성은 반도체 생산에 매우 중요하므로 탄화 규소 세라믹 코팅은 반도체 제조 장비의 핵심 부품에 널리 사용됩니다.

반도체 생산에서 Vetek Semiconductor 실리콘 카바이드 세라믹 코팅이 수행하는 구체적인 역할은 다음과 같습니다.다음과 같이:

장비 내구성 강화: 탄화규소 세라믹 코팅은 매우 높은 경도와 내마모성으로 반도체 제조 장비의 표면 보호 효과가 뛰어납니다. 특히 화학 기상 증착(CVD), 플라즈마 에칭 등 고온, 부식성이 높은 공정 환경에서 탄화규소 세라믹 코팅은 화학적 침식이나 물리적 마모로 인한 장비 표면의 손상을 효과적으로 방지하여 장비의 수명을 크게 연장할 수 있습니다. 잦은 교체 및 유지보수로 인한 가동 중단 시간을 줄여줍니다.

공정 순도 향상: 반도체 제조 공정에서는 작은 오염이라도 제품 불량의 원인이 될 수 있습니다. 탄화규소 세라믹 코팅의 화학적 불활성으로 인해 극한의 조건에서도 안정성을 유지하고 물질이 입자나 불순물을 방출하는 것을 방지하며 공정 중 환경의 순도를 보장합니다. 이는 PECVD 및 이온 주입과 같이 고정밀도와 청결도가 요구되는 제조 단계에 특히 중요합니다.

열 관리 최적화: 급속열처리(RTP), 산화공정 등 고온의 반도체 공정에서 Silicon Carbide Ceramic Coating의 높은 열전도율로 장비 내부의 균일한 온도 분포를 가능하게 합니다. 이는 온도 변동으로 인한 열 응력과 재료 변형을 줄여 제품 제조 정확도와 일관성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

복잡한 프로세스 환경 지원: ICP 에칭, PSS 에칭 공정 등 복잡한 분위기 제어가 필요한 공정에서 탄화규소 세라믹 코팅 히터의 안정성과 내산화성은 장기간 작동 시 장비의 안정적인 성능을 보장하여 재료 열화나 장비의 위험을 줄입니다. 환경 변화로 인한 피해.

베텍 반도체고성능 제조 및 공급에 중점을 두고 있습니다.실리콘 카바이드 세라믹 코팅, 반도체 산업에 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.우리는 진심으로 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다..

기본 물리적 특성실리콘 카바이드 세라믹 코팅:

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 매장:

반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요: