실리콘 카바이드 세라믹 코팅 히터

VeTek 반도체실리콘 카바이드 세라믹 코팅 히터는 고온 및 열악한 환경을 위해 설계된 히터입니다. 발열체 표면에 실리콘카본세라믹코팅(SiC)층을 코팅하여 내열성, 내식성, 열전도율이 우수한 장비입니다. 

실리콘 카바이드 세라믹 코팅 히터주로 진공 코팅(증발) 장비에 사용됩니다. 일반적으로 사용되는 방법은 PCD(플라즈마 화학 건조) 및 PVD(물리적 기상 증착)이며, 이는 반도체 제조 및 기타 수요가 높은 산업 응용 분야에 널리 사용됩니다.

실리콘 카바이드 세라믹 코팅 히터의 고성능 코팅 설계와 결합되어,고온 공정에 탁월한 가열 솔루션을 제공할 수 있습니다..

우수한 열전도율: SiC 소재는 열전도율이 우수하여 히터가 작업 영역에 균일한 열 분포를 달성하고 온도 구배를 줄일 수 있습니다.

균일한 열 분포 제공: 탄화 규소 세라믹 코팅 히터는 SiC 소재의 높은 열전도율을 사용하여 가열 영역 전체에 균일한 온도 분포를 구현합니다. 이는 급속열처리(RTP), 확산, 산화 등 다양한 고온 공정에서 반도체 웨이퍼의 균일한 열처리를 보장하여 국부적인 과열이나 온도 불균일로 인한 제품 결함을 방지하는 데 중요합니다.

고온 내성: SiC 코팅으로 인해 히터는 일반적으로 최대 1600°C의 매우 높은 온도를 견딜 수 있어 다양한 고온 가공 공정에 적합합니다.

내열성 향상: 코팅은 극도로 높은 온도에 견딜 수 있기 때문에 장기간 고온 작업이 필요한 공정에서 우수한 성능을 발휘합니다. 예를 들어, 화학기상증착(CVD) 공정에서 탄화규소 세라믹 코팅 히터는 고온에서 장비의 장기간 안정적인 작동을 보장하고 일관된 가열 성능을 유지함으로써 공정 반복성과 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다.

화학적 내식성: SiC 코팅은 산, 알칼리, 부식성 가스에 대한 저항성이 매우 뛰어나며, 복잡한 화학분위기 환경에서도 장기간 안정성을 유지하여 장비의 수명을 연장시킵니다. 

장비 수명 연장: SiC 코팅은 내산화성, 내식성이 우수하여 고온에서 화학적 침식 및 산화에 효과적으로 저항할 수 있습니다. 이는 반도체 제조 공정, 특히 부식성 가스 및 화학 물질을 취급하는 환경에서 매우 중요합니다. 코팅의 보호 효과는 히터의 수명을 크게 연장하고 장비 교체 빈도와 유지 관리 비용을 줄일 수 있습니다.

탄화규소 세라믹 코팅 히터의 기본 물리적 특성:

VeTek 반도체 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 히터 상점:

VeTek 반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요: