VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.
당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.
VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.
당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.
CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성 | |
재산 | 일반적인 값 |
결정 구조 | FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향 |
밀도 | 3.21g/cm³ |
경도 | 비커스 경도 2500(500g 하중) |
입자 크기 | 2~10μm |
화학적 순도 | 99.99995% |
열용량 | 640 J·kg-1·K-1 |
승화 온도 | 2700℃ |
굴곡강도 | 415MPa RT 4점 |
영률 | 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃ |
열전도율 | 300W·m-1·K-1 |
열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
중국의 전문 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 제조업체 및 공급업체인 Vetek Semiconductor의 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어는 주로 에피택셜 층의 성장 균일성을 개선하여 고온 및 부식성 환경에서 안정성과 무결성을 보장하는 데 사용됩니다. 귀하의 문의를 기대합니다.
더 읽어보기문의 보내기중국의 전문 CVD SiC 코팅 천장 제조업체 및 공급업체인 VeTek Semiconductor의 CVD SiC 코팅 천장은 고온 저항, 내식성, 높은 경도 및 낮은 열팽창 계수와 같은 우수한 특성을 갖고 있어 반도체 제조에 이상적인 재료 선택입니다. 우리는 당신과의 추가 협력을 기대합니다.
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor는 중국의 MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC 코팅 흑연 서셉터 전문 제조업체입니다. VeTek Semiconductor의 MOCVD LED Epi 서셉터는 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 높은 열전도율, 화학적 안정성, 내구성은 안정적인 에피택셜 성장 공정과 고품질 반도체 필름 생산을 보장하는 핵심 요소입니다. 우리는 당신과의 추가 협력을 기대합니다.
더 읽어보기문의 보내기중국의 전문 SiC 코팅 ALD 서셉터 제조업체 및 공급업체인 VeTek Semiconductor의 SiC 코팅 ALD 서셉터는 원자층 증착(ALD) 공정에 특별히 사용되는 지원 구성 요소입니다. ALD 장비에서 핵심적인 역할을 하며 증착 공정의 균일성과 정밀도를 보장합니다. 우리는 ALD 유성 서셉터 제품이 고품질 제품 솔루션을 제공할 수 있다고 믿습니다.
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor는 중국 내 SiC 코팅 Epi Susceptor 제품의 선도적인 제조업체이자 혁신업체이자 리더입니다. 수년 동안 당사는 SiC 코팅 Epi 서셉터, SiC 코팅 웨이퍼 캐리어, SiC 코팅 서셉터, SiC 코팅 ALD 서셉터 등과 같은 다양한 SiC 코팅 제품에 주력해 왔습니다. VeTek Semiconductor는 반도체를 위한 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 산업. 추가 상담을 환영합니다.
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