CVD SiC 코팅 에피택시 서셉터

VeTek Semiconductor의 CVD SiC 코팅 에피택시 서셉터는 반도체 웨이퍼 처리 및 처리를 위해 설계된 정밀 엔지니어링 도구입니다. 이 SiC 코팅 에피택시 서셉터는 박막, 에피층 및 기타 코팅의 성장을 촉진하는 데 중요한 역할을 하며 온도와 재료 특성을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 추가 문의를 환영합니다.

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제품 설명

CVD SiC 코팅 에피택시 서셉터는 일종의 CVD SiC 코팅 에피택시 서셉터입니다.MOCVD LED 에피 서셉터, 이는 CVD 반응기에서 핵심적인 역할을 합니다. Epi Susceptor로서 열원일 뿐만 아니라 증착 공정 중 기판에 안정적인 지지 플랫폼을 제공합니다.SiC 코팅고온 환경에서 흑연 서셉터의 산화 및 오염을 효과적으로 줄여 증착된 물질의 고순도를 보장할 수 있습니다.

기초적인CVD SiC 코팅의 물리적 특성:

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도	3.21g/cm³
경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10^-6K^-1

CVD SiC 코팅 에피택시 서셉터 제품 장점:

● 정밀한 증착: CVD SiC 코팅 에피택시 서셉터를 사용하면 정밀하게 제어된 박막 및 코팅 증착을 달성하여 고품질의 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.

● 오염 감소: SiC 코팅으로 인해 오염될 위험을 최소화합니다.에피 서셉터흑연 기반으로 증착된 물질의 순도를 보장합니다.

● 내구성: SiC 코팅으로 Graphite Epitaxy Susceptor의 내산화성과 화학적 내식성을 강화하여 수명을 연장하고 신뢰성을 높였습니다.

VeTek Semiconductor는 고품질 제품과 경쟁력 있는 가격을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 그것이든EPI 수신기인 경우또는 고순도 흑연 EPI 서셉터를 통해 귀하의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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