MOCVD LED 에피 서셉터

VeTek 반도체'에스MOCVD LED 에피 서셉터핵심 구성 요소입니다. 반도체소자의 준비과정에 있어서,MOCVD LED 에피 서셉터단순한 가열 플랫폼일 뿐만 아니라 박막 재료의 품질, 성장률, 균일성 및 기타 측면에 중대한 영향을 미치는 정밀 공정 도구이기도 합니다.

구체적인 용도MOCVD LED 에피 서셉터반도체 공정에서는 다음과 같습니다.

기판 가열 및 균일성 제어:

MOCVD Epitaxy Susceptor는 균일한 가열을 제공하여 에피택셜 성장 중에 기판의 안정적인 온도를 보장하는 데 사용됩니다. 이는 고품질 반도체 필름을 얻고 기판 전체에 걸쳐 에피택셜 층의 두께와 결정 품질의 일관성을 보장하는 데 필수적입니다.

화학 기상 증착(CVD) 반응기 챔버 지원:

CVD 반응기의 중요한 구성 요소인 서셉터는 기판에 금속 유기 화합물의 증착을 지원합니다. 이는 이러한 화합물을 고체 필름으로 정확하게 변환하여 원하는 반도체 재료를 형성하는 데 도움이 됩니다.

가스 유통 촉진:

서셉터의 설계는 반응 챔버 내 가스의 흐름 분포를 최적화하여 반응 가스가 기판에 고르게 접촉하도록 보장하여 에피택셜 필름의 균일성과 품질을 향상시킬 수 있습니다.

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CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

생산 상점:

반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요：