탄탈륨 카바이드 코팅 링

VeTek 반도체 탄탈륨 카바이드 코팅 링은 다음과 같이 제작됩니다.석묵우수한 성능과 수명을 보장하기 위해 두 재료의 최고의 특성을 활용하는 조합인 탄탈륨 카바이드로 코팅되었습니다. 

탄탈륨 카바이드 코팅 링의 TaC 코팅은 종종 수소, 아르곤 및 질소와 같은 가스가 포함되는 SiC 결정 성장로의 반응 대기에서 화학적으로 불활성 상태를 유지합니다. 이러한 화학적 불활성은 최종 반도체 제품의 결함 및 성능 저하로 이어질 수 있는 성장하는 결정의 오염을 방지하는 데 필수적입니다. 또한, TaC 코팅이 제공하는 열 안정성 덕분에 탄탈륨 카바이드 코팅 링은 일반적으로 2000°C를 초과하는 SiC 결정 성장에 필요한 고온에서 효과적으로 작동할 수 있습니다.

TaC의 기계적 특성은 탄탈륨 카바이드 코팅 링의 마모를 크게 줄여줍니다. 이는 가이드 링이 빈번한 열 주기와 기계적 응력에 노출되는 결정 성장 과정의 반복적인 특성으로 인해 중요합니다. TaC의 경도와 내마모성은 TaC 코팅 링이 장기간에 걸쳐 구조적 무결성과 정확한 치수를 유지하도록 보장하여 빈번한 교체 필요성을 최소화하고 제조 공정의 가동 중지 시간을 줄입니다. 

또한 탄탈륨 카바이드 코팅 링에 흑연과 TaC를 결합하면 결정 성장로 내 열 관리가 최적화됩니다. 흑연의 높은 열 전도성은 열을 효율적으로 분산시켜 핫스팟을 방지하고 균일한 결정 성장을 촉진합니다. 한편, TaC 코팅은 열 장벽 역할을 하여 흑연 코어가 고온 및 반응성 가스에 직접 노출되지 않도록 보호합니다. 코어와 코팅 재료 사이의 이러한 시너지 효과로 인해 가혹한 조건을 견딜 수 있을 뿐만 아니라 가이드 링이 탄생했습니다.SiC 결정 성장프로세스의 전반적인 효율성과 품질도 향상됩니다.

VeTek 반도체 탄탈륨 카바이드 코팅 링은 반도체 산업의 필수 구성 요소로, 특히 성장을 위해 설계되었습니다.실리콘 카바이드 결정. 이 설계는 흑연과 탄탈륨 탄화물의 장점을 활용하여 고온, 고응력 환경에서 탁월한 성능을 제공합니다. TaC 코팅은 고품질 SiC 결정을 생산하는 데 중요한 화학적 불활성, 기계적 내구성 및 열 안정성을 보장합니다. 링은 극한 조건에서도 무결성과 기능성을 유지함으로써 SiC 결정의 효율적이고 결함 없는 성장을 지원하여 고전력 및 고주파수 반도체 장치의 발전에 기여합니다.

VeTek Semiconductor는 선도적인 제조업체이자 공급업체입니다.탄탈륨 카바이드 코팅, 실리콘 카바이드 코팅그리고특수흑연중국에서. 우리는 오랫동안 반도체 산업에 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 진심으로 희망합니다.

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅미세한 단면에：

개요반도체 칩 에피택시 산업 체인：