TaC 코팅링

VeTeksemi TaC Coated Ring은 반도체 제조 공정에 맞춰진 고성능 부품입니다. 고유하게 설계된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 제품에 우수한 내열성, 내식성 및 기계적 안정성을 제공하여 반도체 장비의 흑연 부품의 수명과 신뢰성을 크게 향상시킵니다.

탄탈륨 카바이드 코팅의 우수한 성능:

●   초고온 저항성: TaC 코팅은 최대 2200°C의 극한 온도를 쉽게 견딜 수 있으며 반도체 제조에서 흔히 발생하는 열충격 환경에서도 안정성을 유지합니다.

●   우수한 화학적 안정성: 코팅은 수소, 암모니아, 실란, 실리콘과 같은 일반적인 부식성 가스에 대한 강한 저항성을 보여 화학적 공격으로부터 기판을 효과적으로 보호합니다.

●   우수한 기계적 성질: TaC 코팅은 경도가 높고 내마모성, 내열충격성이 우수하여 가혹한 작업 조건에서도 장기간 안정적으로 작동할 수 있습니다.

●   뛰어난 접착력: 코팅이 흑연 기재에 단단히 접착되어 코팅이 벗겨지는 것을 효과적으로 방지하고 제품 수명 전반에 걸쳐 일관된 성능을 보장합니다.

●   고순도: CVD로 제조된 TaC 코팅은 순도가 매우 높아 불순물 유입을 최소화하고 반도체 제조에 깨끗한 공정 환경을 제공합니다.

탄탈륨 카바이드 코팅 링의 장점:

●   장비 수명 연장: TaC 코팅은 화학반응과 불순물 확산을 효과적으로 차단하여 흑연 부품의 수명을 획기적으로 연장하고 유지관리 비용을 절감합니다.

●   생산 효율성 향상: 제품의 높은 내열성과 내식성을 통해 보다 까다로운 조건에서도 작동이 가능하며, 생산주기를 단축하고 생산능력을 증대시킵니다.

●   제품 품질 개선: 고순도 TaC 코팅으로 오염을 줄여 반도체 제품의 품질과 일관성을 보장합니다.

VeTek Semiconductor는 다음과 같은 TaC 코팅 제품을 전문적으로 생산해왔습니다.TaC 코팅척, TaC 코팅 회전판, TaC 코팅업체, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터수년 동안. 당사의 TaC 코팅 링 제품은 장비 수명 연장, 생산 효율성 향상 및 제품 품질 향상 기능을 갖추고 있습니다. 동시에 VeTek Semiconductor는 오랫동안 반도체 산업에 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다. 우리는 진심으로 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다.

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