TaC 코팅 서셉터

VeTek Semiconductor는 TaC 코팅 서셉터를 선보입니다. 뛰어난 TaC 코팅을 갖춘 이 서셉터는 기존 솔루션과 차별화되는 다양한 이점을 제공합니다. 기존 시스템에 원활하게 통합되는 VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 서셉터는 호환성과 효율적인 작동을 보장합니다. 안정적인 성능과 고품질 TaC 코팅은 SiC 에피택시 공정에서 지속적으로 뛰어난 결과를 제공합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 서셉터와 링은 LPE 탄화규소 에피택셜 성장 반응기에서 함께 작동합니다.

고온 저항: TaC 코팅 서셉터는 고온 저항이 뛰어나 LPE 반응기에서 최대 1500°C의 극한 온도를 견딜 수 있습니다. 이는 장비와 부품이 장기간 작동 중에 변형되거나 손상되지 않도록 보장합니다.

화학적 안정성: TaC 코팅 서셉터는 부식성 탄화규소 성장 환경에서 탁월한 성능을 발휘하여 부식성 화학적 공격으로부터 반응기 구성 요소를 효과적으로 보호하여 서비스 수명을 연장합니다.

열 안정성: TaC 코팅 서셉터는 열 안정성이 뛰어나 표면 형태와 거칠기를 유지하여 반응기 온도 필드의 균일성을 보장하며 이는 탄화규소 에피택셜 층의 고품질 성장에 유리합니다.

오염 방지: 매끄러운 TaC 코팅 표면과 우수한 TPD(Temperature Programmed Desorption) 성능은 반응기 내부의 입자 및 불순물의 축적과 흡착을 최소화하여 에피택셜 층의 오염을 방지할 수 있습니다.

요약하면, TaC 코팅된 서셉터와 링은 LPE 탄화규소 에피택셜 성장 반응기에서 중요한 보호 역할을 수행하여 장비의 장기적으로 안정적인 작동과 에피택셜 층의 고품질 성장을 보장합니다.

TaC 코팅 서셉터의 제품 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)