LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품

VeTek Semiconductor는 중국의 LPE 제조업체이자 혁신가를 위한 대규모 탄탈륨 카바이드 코팅 반달 부품입니다. 우리는 수년 동안 TaC 코팅을 전문으로 해왔습니다. 우리 제품은 섭씨 2000도 이상의 온도를 견딜 수 있고 소모품의 수명을 연장할 수 있습니다. 우리는 기대합니다 중국에서 장기적인 파트너가 되는 것입니다.

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제품 설명

전문 제조업체로서 VeTek Semiconductor는 고품질의 LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품을 제공하고자 합니다.

VeTek Semiconductor는 고품질과 합리적인 가격을 갖춘 전문적인 중국 SiC, TaC 코팅, 견고한 SiC 제조업체입니다. LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품은 수평 및 수직 에피택시 장비의 반응 챔버에서 기판, 온도 제어, 열 운반에 사용됩니다. 보존, 환기, 보호 및 기타 기능을 통해 반응 챔버 내부 SiC 에피택시 층 성장의 두께, 도핑, 결함 및 기타 재료 특성을 공동으로 제어합니다.

VeTek Semiconductor 관련 제품: 상단 반달, 하단 반달, 보호 커버, 절연 커버, 공정 공기 전환 인터페이스. 당사는 고객에게 SiC 코팅 및 TaC 코팅 구성요소 솔루션의 전체 범위를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품의 제품 매개변수

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)