VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 편향기 링은 SiC 결정 성장 공정을 위해 설계된 고도로 특수화된 부품입니다. TaC 코팅은 결정 성장 과정에서 고온 및 부식 환경에 대처할 수 있도록 탁월한 고온 저항성과 화학적 불활성을 제공합니다. 이는 부품의 안정적인 성능과 긴 수명을 보장하여 교체 빈도와 가동 중지 시간을 줄입니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
VeTek Semiconductor는 중국의 전문적인 TaC 코팅 디플렉터 링 제조업체 및 공급업체입니다. 당사의 TaC 코팅 디플렉터 링은 SiC 결정 성장 공정에 사용하도록 설계된 고도로 전문화된 구성 요소입니다. 이러한 구성 요소는 높은 내열성, 뛰어난 내구성, 탁월한 화학적 불활성이 요구되는 환경에서 매우 중요합니다.
TaC 코팅 디플렉터 링은 고순도 탄탈륨 카바이드로 제조되어 탁월한 열 전도성과 고온 및 열 충격에 대한 극도의 저항성을 제공합니다. 부품의 TaC 코팅은 결정 성장에 흔히 발생하는 공격적인 화학 물질과 가혹한 환경에 대한 추가 보호 층을 제공합니다. 코팅이 있으면 부품의 내구성과 수명이 증가하고 여러 사이클에 걸쳐 일관된 성능을 유지합니다.
TaC 코팅 디플렉터 링은 최대 2200°C의 온도를 견딜 수 있어 고온 공정에 이상적입니다. TaC 코팅 디플렉터 링은 주로 반도체 산업, 특히 탄화규소의 결정 성장에 사용됩니다. 연구 및 산업 규모의 결정 성장 반응기에 모두 적합합니다.
TaC 코팅의 물리적 특성 | |
밀도 | 14.3(g/cm3) |
특정 방사율 | 0.3 |
열팽창계수 | 6.3 10-6/K |
경도(홍콩) | 2000홍콩 |
저항 | 1×10-5Ω*cm |
열 안정성 | <2500℃ |
흑연 크기 변화 | -10~-20um |
코팅 두께 | ≥20um 일반 값(35um±10um) |