탄탈륨 카바이드 코팅 척

VeTek Semiconductor는 중국의 선도적인 탄탈륨 카바이드 코팅 척 제조업체이자 혁신가입니다. 우리는 수년 동안 TaC 코팅을 전문으로 해왔습니다. 당사의 제품은 최대 2000℃의 고순도 및 고온 저항을 가지고 있습니다. 우리는 귀하의 장기적인 제품이 되기를 기대합니다. 중국의 파트너.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 탄탈륨 카바이드 코팅 척, SiC 코팅 부품을 공급합니다. 문의에 오신 것을 환영합니다. VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅 척은 AIXTRON G10 MOCVD 시스템용으로 특별히 설계되었습니다. 이 액세서리는 반도체 제조의 효율성과 품질을 향상시켜 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공합니다.

고품질 재료로 제작되고 정밀하게 제조된 척은 CVD 탄탈륨 카바이드(TaC)로 코팅된 흑연 기판이 특징입니다. 이 코팅은 탁월한 열 안정성, 고순도 및 고온 저항성을 제공합니다. MOCVD 공정의 까다로운 조건에서도 안정적인 성능을 보장합니다.

척은 다양한 반도체 웨이퍼 크기를 수용하도록 맞춤화할 수 있으므로 다양한 생산 요구 사항에 적합합니다. 견고한 구조로 인해 웨이퍼 캐리어 및 서셉터와 관련된 가동 중지 시간 및 유지 관리 비용이 최소화됩니다.

VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck을 사용하는 AIXTRON G10 MOCVD 시스템은 반도체 제조에서 더 높은 효율성과 뛰어난 결과를 달성합니다. 탁월한 열 안정성, 다양한 웨이퍼 크기와의 호환성 및 안정적인 성능을 통해 생산 효율성을 최적화하고 까다로운 MOCVD 환경에서 탁월한 결과를 달성하는 데 필수적인 도구입니다.

탄탈륨 카바이드 코팅 척의 제품 매개변수

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)