TaC 코팅척

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 척은 SiC EPI 공정에서 탁월한 결과를 달성하기 위한 이상적인 솔루션입니다. TaC 코팅, 고온 저항성 및 화학적 불활성을 갖춘 당사 제품을 사용하면 정밀도와 신뢰성을 갖춘 고품질 결정을 생산할 수 있습니다.문의를 환영합니다.

TaC(탄탈륨 카바이드)는 에피택시 장비 내부 부품의 표면을 코팅하는 데 흔히 사용되는 소재입니다. 다음과 같은 특징이 있습니다.

● 우수한 고온 저항: TaC 코팅은 최대 2200°C의 온도를 견딜 수 있어 에피택셜 반응 챔버와 같은 고온 환경의 응용 분야에 이상적입니다.

● 높은 경도: TaC의 경도는 약 2000HK에 이르며, 이는 일반적으로 사용되는 스테인레스강이나 알루미늄 합금보다 훨씬 단단하여 표면 마모를 효과적으로 방지할 수 있습니다.

● 강한 화학적 안정성: TaC 코팅은 화학적으로 부식성이 있는 환경에서 우수한 성능을 발휘하며 에피텍셜 장비 부품의 수명을 크게 연장할 수 있습니다.

● 좋은 전기 전도성: TaC코팅은 전기전도도가 좋아 정전기 방출과 열전도에 좋습니다.

이러한 특성으로 인해 TaC 코팅은 내부 부싱, 반응 챔버 벽 및 에피택시 장비용 가열 요소와 같은 중요한 부품을 제조하는 데 이상적인 재료입니다. 이러한 부품을 TaC로 코팅하면 에피택셜 장비의 전반적인 성능과 서비스 수명이 향상될 수 있습니다.

탄화규소 에피택시에서는 TaC 코팅 덩어리도 중요한 역할을 할 수 있습니다. TaC의 표면 코팅은 부드럽고 조밀하여 고품질 탄화 규소 필름을 형성하는 데 도움이 됩니다. 동시에, TaC의 우수한 열전도도는 장비 내부의 온도 분포의 균일성을 향상시켜 에피택시 공정의 온도 제어 정확도를 향상시켜 궁극적으로 고품질의 탄화규소 에피층 성장을 달성할 수 있습니다.