TaC 코팅척

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 척은 특히 탄화규소(SiC) 에피택시(EPI) 공정에서 뛰어난 고온 저항성과 화학적 불활성으로 알려진 고품질 TaC 코팅을 특징으로 합니다. 뛰어난 기능과 우수한 성능을 갖춘 TaC 코팅 척은 몇 가지 주요 이점을 제공합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 척은 SiC EPI 공정에서 탁월한 결과를 달성하기 위한 이상적인 솔루션입니다. TaC 코팅, 고온 저항성 및 화학적 불활성을 갖춘 당사 제품을 사용하면 정밀도와 신뢰성을 갖춘 고품질 결정을 생산할 수 있습니다.문의를 환영합니다.

TaC(탄탈륨 카바이드)는 에피택시 장비 내부 부품의 표면을 코팅하는 데 흔히 사용되는 소재입니다. 다음과 같은 특징이 있습니다.

뛰어난 내열성: TaC 코팅은 최대 2200°C의 온도를 견딜 수 있으므로 에피택시 반응 챔버와 같은 고온 환경의 응용 분야에 이상적입니다.

높은 경도: TaC의 경도는 약 3000-4000HV에 달하며, 이는 일반적으로 사용되는 스테인레스강이나 알루미늄 합금보다 훨씬 단단하여 표면 마모를 효과적으로 방지할 수 있습니다.

강력한 화학적 안정성: TaC 코팅은 화학적으로 부식성이 있는 환경에서 우수한 성능을 발휘하며 에피택셜 장비 부품의 서비스 수명을 크게 연장할 수 있습니다.

우수한 전기 전도성: TaC 코팅은 전기 전도성이 우수하여 정전기 방출 및 열 전도에 도움이 됩니다.

이러한 특성으로 인해 TaC 코팅은 내부 부싱, 반응 챔버 벽 및 에피택셜 장비용 가열 요소와 같은 중요한 부품을 제조하는 데 이상적인 재료입니다. 이러한 부품을 TaC로 코팅하면 에피택셜 장비의 전반적인 성능과 서비스 수명이 향상될 수 있습니다.

탄화규소 에피택시에서는 TaC 코팅 덩어리도 중요한 역할을 할 수 있습니다. TaC 코팅의 표면은 매끄럽고 조밀하여 고품질 탄화규소 필름을 형성하는 데 도움이 됩니다. 동시에 TaC의 우수한 열전도도는 장비 내부 온도 분포의 균일성을 향상시켜 에피택시 공정의 온도 제어 정확도를 향상시켜 궁극적으로 고품질의 탄화규소 에피층 성장을 달성할 수 있습니다.

TaC 코팅 청크의 제품 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)