TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어

VeTek Semiconductor는 중국의 선도적인 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어 제조업체이자 혁신업체입니다. 우리는 수년 동안 SiC 및 TaC 코팅을 전문으로 해왔습니다. 당사의 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어는 더 높은 내열성과 내마모성을 갖추고 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor에서 맞춤형 TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어를 구매하시면 안심하실 수 있습니다. 우리는 당신과 협력하기를 기대합니다. 더 알고 싶으시면 지금 저희에게 문의하실 수 있습니다. 시간 내에 답변해 드리겠습니다!

VeTek Semiconductor TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어는 에피택시 반응기의 웨이퍼와 직접 상호 작용하여 효율성과 성능을 향상시킵니다. 실리콘 카바이드 또는 탄탈륨 카바이드 코팅 옵션을 갖춘 VeTek Semiconductor TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어는 탄탈륨 카바이드를 사용하면 최대 2~3배 더 긴 수명을 제공합니다. LPE SiC 에피택시로, JSG, NASO 에피택시로를 포함한 다양한 기계 모델과 호환됩니다.

VeTek Semiconductor TaC 코팅 흑연 캐리어는 정확한 반응 화학량론을 보장하고 불순물 이동을 방지하며 2000°C 이상의 온도 안정성을 유지합니다. 이 제품은 H2, NH3, SiH4 및 Si에 대한 탁월한 내성을 보여 가혹한 화학적 환경으로부터 보호합니다. 열충격에 강해 코팅 박리 없이 빠른 작동 사이클을 가능하게 합니다.

VeTek Semiconductor TaC 코팅은 초고순도를 보장하고 불순물을 제거하며 엄격한 치수 공차를 충족하는 등각 적용 범위를 보장합니다. VeTek Semiconductor의 고급 흑연 처리 기능을 통해 당사는 귀하의 맞춤 요구 사항을 충족할 수 있는 장비를 갖추고 있습니다. 코팅 서비스가 필요하든 포괄적인 솔루션이 필요하든 당사의 전문 엔지니어 팀은 귀하의 특정 응용 분야에 맞는 완벽한 솔루션을 설계할 준비가 되어 있습니다. 귀하의 요구 사항과 기대에 맞는 고품질 제품을 제공할 수 있도록 당사를 믿으십시오.

PVT 방식 SiC 결정 성장

TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어의 제품 매개변수

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)