LED EPI 수신기

VeTek Semiconductor는 TaC 코팅 및 SiC 코팅 흑연 부품의 선도적인 공급업체입니다. 당사는 LED 에피택시 공정에 필수적인 최첨단 LED EPI 서셉터 생산을 전문으로 하고 있습니다. 혁신과 품질에 중점을 두고 당사는 LED 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하는 안정적인 솔루션을 제공합니다. 문의사항에 대해 논의하고 당사 제품이 귀하의 제조 공정을 어떻게 향상시킬 수 있는지 알아보려면 지금 저희에게 연락하십시오.

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제품 설명

전문 제조업체로서 우리는 고품질의 LED EPI 서셉터를 제공하고 싶습니다.

VeTek Semiconductor의 LED EPI 서셉터는 LED 에피택시 성장 공정용으로 설계된 최첨단 제품입니다. 이 고품질 서셉터는 LED 에피택시용 웨이퍼 캐리어 역할을 하여 LED 에피택시 웨이퍼의 성장을 유지하고 필수적인 지원을 제공합니다. 탁월한 기능과 고급 설계를 갖춘 LED EPI 서셉터는 에피택시 공정 전반에 걸쳐 최적의 성능과 신뢰성을 보장합니다.

프리미엄 고온을 사용하여 제조된 LED EPI 서셉터는 뛰어난 온도 내성과 화학적 안정성을 나타냅니다. 세심하게 설계된 디자인은 에피택셜 웨이퍼의 균일한 접촉과 성장을 보장하는 동시에 탁월한 표면 평탄도와 내마모성을 제공합니다. 서셉터의 구조와 치수는 다양한 에피택셜 웨이퍼 크기를 수용할 수 있도록 맞춤화되어 다양한 직경과 두께를 쉽게 수용할 수 있습니다.

LED EPI 서셉터는 뛰어난 열 전도성을 갖추고 있어 열을 효율적으로 방출하여 에피택셜 웨이퍼의 안정적인 성장 온도를 유지합니다. 이 중요한 기능은 프로세스 안정성과 일관성을 향상시켜 일관되고 고품질의 LED 성장을 보장합니다.

성능을 더욱 향상시키기 위해 LED EPI 서셉터는 프리미엄 TaC(탄탈륨 카바이드) 박막으로 코팅되었습니다. 이 코팅은 탁월한 고온 안정성, 내화학성, 경도, 내마모성 및 향상된 열 전도성을 제공합니다. TaC 코팅은 제품의 내구성과 신뢰성을 크게 향상시켜 오래 지속되고 최적의 성능을 보장합니다.

VeTek Semiconductor의 LED EPI 서셉터는 다양한 LED 에피택시 장비 및 공정과의 원활한 호환성을 자랑하므로 다양한 에피택시 웨이퍼 성장 요구 사항을 충족하는 다목적 솔루션입니다. 우수성과 정밀도를 제공하는 LED EPI 서셉터는 안정적이고 효율적인 LED 에피택시 공정을 달성하기 위한 이상적인 선택입니다.

뛰어난 LED 성장을 위한 신뢰할 수 있는 솔루션인 VeTek Semiconductor의 LED EPI 서셉터로 에피택시 혁명을 경험해 보세요.

TaC 코팅의 기본 물리적 특성:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)