TaC 코팅이 적용된 MOCVD 서셉터

VeTek Semiconductor는 TaC 코팅 및 SiC 코팅 부품의 연구, 개발, 생산, 설계 및 판매에 관여하는 종합 공급업체입니다. 당사의 전문 기술은 LED 에피택시 공정에서 중요한 역할을 하는 TaC 코팅이 적용된 최첨단 MOCVD 서셉터 생산에 있습니다. 문의 사항 및 추가 정보에 대해 논의해 보시기 바랍니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 TaC 코팅이 적용된 MOCVD 서셉터를 전문으로 하는 중국의 선도적인 제조업체, 공급업체 및 수출업체입니다. TaC 코팅이 적용된 최신 판매, 저렴한 가격 및 고품질 MOCVD 서셉터를 구입하기 위해 저희 공장에 오신 것을 환영합니다. 우리는 당신과 협력하기를 기대합니다.

LED 에피택시는 결정 품질 관리, 재료 선택 및 매칭, 구조 설계 및 최적화, 공정 제어 및 일관성, 광 추출 효율성과 같은 과제에 직면해 있습니다. 올바른 에피택시 웨이퍼 캐리어 재료를 선택하는 것이 중요하며 탄탈륨 카바이드(TaC) 박막으로 코팅(TaC 코팅)하면 추가적인 이점을 얻을 수 있습니다.

에피택시 웨이퍼 캐리어 재료를 선택할 때 다음과 같은 몇 가지 주요 요소를 고려해야 합니다.

온도 내성 및 화학적 안정성: LED 에피택시 공정에는 고온이 수반되며 화학 물질을 사용할 수도 있습니다. 따라서 고온 및 화학적 환경에서 캐리어의 안정성을 보장하려면 온도 내성과 화학적 안정성이 우수한 재료를 선택해야 합니다.

표면 평탄도 및 내마모성: 에피택시 웨이퍼 캐리어의 표면은 에피택시 웨이퍼의 균일한 접촉과 안정적인 성장을 보장하기 위해 평탄도가 좋아야 합니다. 또한 표면 손상 및 마모를 방지하려면 내마모성이 중요합니다.

열 전도성: 열 전도성이 좋은 재료를 선택하면 열을 효과적으로 분산시켜 에피택시 층의 안정적인 성장 온도를 유지하고 공정 안정성과 일관성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

이와 관련하여 에피택시 웨이퍼 캐리어를 TaC로 코팅하면 다음과 같은 이점이 있습니다.

고온 안정성: TaC 코팅은 탁월한 고온 안정성을 나타내어 고온 에피택시 공정 중에 구조와 성능을 유지하고 우수한 온도 내성을 제공합니다.

화학적 안정성: TaC 코팅은 일반적인 화학 물질 및 대기로 인한 부식에 강하여 캐리어를 화학적 분해로부터 보호하고 내구성을 향상시킵니다.

경도 및 내마모성: TaC 코팅은 높은 경도와 내마모성을 갖고 있어 에피택시 웨이퍼 캐리어의 표면을 강화하고 손상과 마모를 줄이고 수명을 연장시킵니다.

열 전도성: TaC 코팅은 우수한 열 전도성을 보여 열 방출을 돕고 에피택시 층의 안정적인 성장 온도를 유지하며 공정 안정성과 일관성을 향상시킵니다.

따라서 TaC 코팅이 적용된 에피택시 웨이퍼 캐리어를 선택하면 LED 에피택시 문제를 해결하고 고온 및 화학적 환경의 요구 사항을 충족하는 데 도움이 됩니다. 이 코팅은 고온 안정성, 화학적 안정성, 경도 및 내마모성, 열 전도성 등의 장점을 제공하여 에피택시 웨이퍼 캐리어의 성능, 수명 및 생산 효율성 향상에 기여합니다.

TaC 코팅의 기본 물리적 특성:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)