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제품
중국 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장
VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.
주요 제품은탄탈륨 카바이드 코팅 디펙터 링, TaC 코팅 전환 링, TaC 코팅 반달 부품, 탄탈륨 카바이드 코팅 행성 회전 디스크(Aixtron G10), TaC 코팅 도가니; TaC 코팅 링; TaC 코팅된 다공성 흑연; 탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 서셉터; TaC 코팅 가이드 링; TaC 탄탈륨 카바이드 코팅 플레이트; TaC 코팅 웨이퍼 서셉터; TaC 코팅링; TaC 코팅 흑연 커버; TaC 코팅 청크등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.
탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열 충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받아 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되었습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.
주요 특징:
온도 안정성
초고순도
H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성
열 재고에 대한 저항
흑연과의 강한 접착력
컨포멀 코팅 적용 범위
직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)
응용:
웨이퍼 캐리어
유도 가열 서셉터
저항 가열 요소
위성 디스크
샤워기
가이드 링
LED 에피 수신기
분사노즐
마스킹 링
열 차폐
미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:
VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:
| TaC 코팅의 물리적 특성 | |
| 밀도 | 14.3(g/cm3) |
| 특정 방사율 | 0.3 |
| 열팽창계수 | 6.3 10-6/케이 |
| Hardness (HK) | 2000홍콩 |
| 저항 | 1×10-5옴*cm |
| 열 안정성 | <2500℃ |
| 흑연 크기 변화 | -10~-20um |
| 코팅 두께 | ≥20um 일반 값(35um±10um) |
TaC 코팅 EDX 데이터：
TaC 코팅 결정 구조 데이터
| 요소 | 원자퍼센트 | |||
| 백금. 1 | 백금. 2 | 백금. 3 | 평균 | |
| 씨케이 | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| 타 남 | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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CVD TaC 코팅링
VeTek Semiconductor의 CVD TaC 코팅 링은 탄화규소(SiC) 결정 성장 공정의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 매우 유리한 구성 요소입니다. CVD TaC 코팅 링은 탁월한 고온 저항성과 화학적 불활성을 제공하므로 고온 및 부식성 조건이 특징인 환경에 이상적인 선택입니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다. 중국에서.
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LPE SiC EPI 하프문
VeTek Semiconductor의 LPE SiC Epi Halfmoon은 LPE 리액터 SiC 에피택시 공정을 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 제품입니다. 이 최첨단 솔루션은 제조 작업 전반에 걸쳐 우수한 성능과 효율성을 보장하는 몇 가지 주요 기능을 자랑합니다. 귀하와의 장기적인 협력을 기대합니다.
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LED EPI 수신기
VeTek Semiconductor는 TaC 코팅 및 SiC 코팅 흑연 부품의 선도적인 공급업체입니다. 당사는 LED 에피택시 공정에 필수적인 최첨단 LED EPI 서셉터 생산을 전문으로 하고 있습니다. 혁신과 품질에 중점을 두고 당사는 LED 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하는 안정적인 솔루션을 제공합니다. 문의사항에 대해 논의하고 당사 제품이 귀하의 제조 공정을 어떻게 향상시킬 수 있는지 알아보려면 지금 저희에게 연락하십시오.
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TaC 코팅이 적용된 MOCVD 서셉터
VeTek Semiconductor는 TaC 코팅 및 SiC 코팅 부품의 연구, 개발, 생산, 설계 및 판매에 관여하는 종합 공급업체입니다. 당사의 전문 기술은 LED 에피택시 공정에서 중요한 역할을 하는 TaC 코팅이 적용된 최첨단 MOCVD 서셉터 생산에 있습니다. 문의 사항 및 추가 정보에 대해 논의해 보시기 바랍니다.
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TaC 코팅 심자외선 LED 서셉터
VeTek Semiconductor는 TaC 코팅의 연구 개발, 생산, 설계 및 판매에 종사하는 통합 공급업체입니다. 당사는 LED 에피택시 공정에서 중요한 구성 요소인 최첨단 TaC 코팅 UV LED 서셉터 제조를 전문으로 합니다. 당사의 TaC 코팅 심UV LED 서셉터는 높은 열 전도성, 높은 기계적 강도, 향상된 생산 효율성 및 에피택셜 웨이퍼 보호 기능을 제공합니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.
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탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문
VeTek Semiconductor는 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문(Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon)에 대한 중국의 선도적인 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 R&D 및 생산을 전문으로 하며 품질을 잘 제어하고 경쟁력 있는 가격을 제공할 수 있습니다. 장기적인 협력에 대한 추가 논의를 위해 저희 공장을 방문하실 수 있습니다.
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중국의 전문 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.
