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중국 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

주요 제품은탄탈륨 카바이드 코팅 디펙터 링, TaC 코팅 전환 링, TaC 코팅 반달 부품, 탄탈륨 카바이드 코팅 행성 회전 디스크(Aixtron G10), TaC 코팅 도가니; TaC 코팅 링; TaC 코팅된 다공성 흑연; 탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 서셉터; TaC 코팅 가이드 링; TaC 탄탈륨 카바이드 코팅 플레이트; TaC 코팅 웨이퍼 서셉터; TaC 코팅링; TaC 코팅 흑연 커버; TaC 코팅 청크등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열 충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받아 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되었습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.

주요 특징:

온도 안정성

초고순도

H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성

열 재고에 대한 저항

흑연과의 강한 접착력

컨포멀 코팅 적용 범위

직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)

응용:

웨이퍼 캐리어

유도 가열 서셉터

저항 가열 요소

위성 디스크

샤워기

가이드 링

LED 에피 수신기

분사노즐

마스킹 링

열 차폐

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10^-6/케이
Hardness (HK)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

TaC 코팅 EDX 데이터：

TaC coating EDX data

TaC 코팅 결정 구조 데이터

요소	원자퍼센트
	백금. 1	백금. 2	백금. 3	평균
씨케이	52.10	57.41	52.37	53.96
타 남	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC 코팅척 TaC 코팅 유성디스크 TaC 코팅판 TaC 코팅 회전판 TaC 코팅 서셉터 CVD TaC 코팅 커버 CVD TaC 코팅링 TaC 코팅판

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TaC 코팅 예비 부품

VeTek Semiconductor는 중국의 TaC 코팅 플레이트 및 기타 TaC 코팅 예비 부품 전문 제조업체입니다. TaC 코팅은 현재 탄화규소 단결정 성장(PVT 공법), 에피택시 디스크(탄화규소 에피택시, LED 에피택시 포함) 등의 공정에 주로 사용되고 있습니다. TaC 코팅판의 우수한 장기 안정성과 결합하여 VeTek Semiconductor TaC 코팅 플레이트는 TaC 코팅 예비 부품의 벤치마크가 되었습니다. 우리는 귀하가 우리의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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SiC 에피 수용체의 GaN

VeTek Semiconductor는 중국의 SiC 에피 서셉터, CVD SiC 코팅 및 CVD TAC COATING 흑연 서셉터의 GaN 전문 제조업체입니다. 그중 SiC 에피 서셉터의 GaN은 반도체 공정에서 중요한 역할을 합니다. 우수한 열 전도성, 고온 처리 능력 및 화학적 안정성을 통해 GaN 에피택시 성장 공정의 높은 효율성과 재료 품질을 보장합니다. 고객님의 추가 상담을 진심으로 기다리겠습니다.

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CVD TaC 코팅 캐리어

VeTek Semiconductor의 CVD TaC 코팅 캐리어는 주로 반도체 제조의 에피택셜 공정용으로 설계되었습니다. CVD TaC 코팅 캐리어의 초고융점, 뛰어난 내식성, 뛰어난 열 안정성은 이 제품이 반도체 에피택셜 공정에 꼭 필요한 제품임을 결정합니다. 우리는 귀하와 장기적인 비즈니스 관계를 구축하기를 진심으로 희망합니다.

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TaC 코팅 가이드 링

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 가이드 링은 화학 기상 증착(CVD)이라는 첨단 기술을 사용하여 흑연 부품에 탄탈륨 카바이드 코팅을 적용하여 만들어졌습니다. 이 방법은 잘 확립되어 있으며 뛰어난 코팅 특성을 제공합니다. TaC 코팅 가이드 링을 활용하면 흑연 부품의 수명을 대폭 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 SiC 및 AIN 단결정 품질을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.

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TaC 코팅 흑연 서셉터

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 흑연 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 방식을 사용하여 흑연 부품 표면에 탄탈륨 카바이드 코팅을 준비합니다. 이 공정은 가장 성숙하고 최고의 코팅 특성을 가지고 있습니다. TaC 코팅 흑연 서셉터는 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 에피택시 품질을 보장할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 문의를 기다리고 있습니다.

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TaC 코팅 서셉터

VeTek Semiconductor는 TaC 코팅 서셉터를 선보입니다. 뛰어난 TaC 코팅을 갖춘 이 서셉터는 기존 솔루션과 차별화되는 다양한 이점을 제공합니다. 기존 시스템에 원활하게 통합되는 VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 서셉터는 호환성과 효율적인 작동을 보장합니다. 안정적인 성능과 고품질 TaC 코팅은 SiC 에피택시 공정에서 지속적으로 뛰어난 결과를 제공합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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중국의 전문 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.