TaC 코팅히터

VeTek Semiconductor는 중국 TaC 코팅 히터의 선도적인 제조업체이자 혁신업체입니다. 이 제품은 녹는점이 매우 높습니다(약 3880°C). TaC 코팅 히터는 녹는점이 높아 매우 높은 온도, 특히 MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착) 공정에서 질화갈륨(GaN) 에피층 성장 시 매우 높은 온도에서 작동할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

TaC Coating Heater는 반도체 제조공정에 널리 사용되는 고성능 발열체입니다. 표면을 탄탈륨카바이드(TaC) 소재로 코팅해 내열성, 내화학성, 열전도율이 우수합니다.

반도체 제조에서 TaC 코팅 히터의 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.

질화갈륨(GaN) 에피택셜 성장 과정에서 TaC 코팅 히터는 에피택시층이 균일한 속도와 고품질로 기판에 증착되도록 정밀하게 제어된 고온 환경을 제공합니다. 안정적인 열 출력은 박막 재료의 정밀한 제어를 달성하여 장치 성능을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

또한 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 공정에서는 TaC 코팅의 높은 내열성과 열전도도가 결합되어 반응가스를 가열하는데 주로 사용되는 TaC Coating Heater이며, 균일한 열분포를 제공함으로써 기판 표면에서의 화학 반응을 통해 에피택셜 층의 균일성을 향상시키고 고품질 필름을 형성합니다.

TaC 코팅 히터 제품의 업계 선두주자인 VeTek Semiconducto는 항상 제품 맞춤 서비스와 만족스러운 제품 가격을 지원합니다. 귀하의 특정 요구 사항이 무엇이든, 우리는 귀하의 TaC 코팅 히터 요구 사항에 가장 적합한 솔루션을 찾아드릴 것이며 언제든지 귀하의 상담을 기다리겠습니다.

TaC 코팅히터의 기본물성

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)