CVD TaC 코팅 도가니

TaC 코팅 회전 서셉터(TaC Coating Rotation Susceptor)는 CVD, MBE 등 고온 증착 공정에서 핵심적인 역할을 하며, 반도체 제조 시 웨이퍼 가공에 중요한 부품이다. 그 중,TaC코팅내열성, 내식성, 화학적 안정성이 뛰어나 웨이퍼 가공 시 고정밀도와 고품질을 보장합니다.

CVD TaC 코팅 도가니는 일반적으로 TaC 코팅과석묵기판. 그 중 TaC는 녹는점이 최대 3880°C에 이르는 고융점 세라믹 소재이다. 매우 높은 경도(비커스 경도 최대 2000HV), 화학적 내식성 및 강한 내산화성을 갖추고 있습니다. 따라서 TaC 코팅은 반도체 공정 기술에서 우수한 내열성 소재입니다.

흑연 기판은 열전도율이 좋고(열전도율은 약 21W/m·K) 기계적 안정성이 뛰어납니다. 이러한 특성은 흑연이 이상적인 코팅이 되는 것을 결정합니다.기판.

CVD TaC 코팅 도가니는 주로 다음과 같은 반도체 공정 기술에 사용됩니다.:

웨이퍼 제조: VeTek Semiconductor CVD TaC 코팅 도가니는 내열성(융점 최대 3880°C)과 내식성이 우수하여 고온기상증착(CVD), 에피택시 성장 등 핵심 웨이퍼 제조 공정에 많이 사용됩니다. 초고온 환경에서 제품의 뛰어난 구조적 안정성이 결합되어 극도로 가혹한 조건에서도 장비가 장기간 안정적으로 작동할 수 있도록 하여 웨이퍼의 생산 효율성과 품질을 효과적으로 향상시킵니다.

에피택셜 성장 과정: 다음과 같은 에피텍셜 공정에서화학기상증착(CVD)및 분자빔 에피택시(MBE), CVD TaC 코팅 도가니는 운반에 핵심적인 역할을 합니다. TaC 코팅은 극한의 온도와 부식성 분위기에서 물질의 고순도를 유지할 수 있을 뿐만 아니라 물질에 대한 반응물의 오염과 반응기의 부식을 효과적으로 방지하여 생산 공정의 정확성과 제품의 일관성을 보장합니다.

중국 최고의 CVD TaC 코팅 도가니 제조업체이자 선두업체인 VeTek Semiconductor는 고객의 장비 및 프로세스 요구 사항에 따라 맞춤형 제품과 기술 서비스를 제공할 수 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다.

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅：

TaC 코팅의 물리적 특성：

VeTek 반도체 CVD TaC 코팅 도가니 상점: