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제품
중국 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장
VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.
주요 제품은탄탈륨 카바이드 코팅 디펙터 링, TaC 코팅 전환 링, TaC 코팅 반달 부품, 탄탈륨 카바이드 코팅 행성 회전 디스크(Aixtron G10), TaC 코팅 도가니; TaC 코팅 링; TaC 코팅된 다공성 흑연; 탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 서셉터; TaC 코팅 가이드 링; TaC 탄탈륨 카바이드 코팅 플레이트; TaC 코팅 웨이퍼 서셉터; TaC 코팅링; TaC 코팅 흑연 커버; TaC 코팅 청크등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 탄탈륨 탄화물의 미세한 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.
탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열 충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받아 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되었습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.
주요 특징:
●온도 안정성
●초고순도
●H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성
●열 재고에 대한 저항
●흑연과의 강한 접착력
●컨포멀 코팅 적용 범위
● 직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)
응용:
● 유도가열 서셉터
● 저항 발열체
●분사노즐
● 열 차폐
미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:
VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:
| TaC 코팅의 물리적 특성 | |
| 밀도 | 14.3(g/cm3) |
| 특정 방사율 | 0.3 |
| 열팽창계수 | 6.3 10-6/케이 |
| 경도(홍콩) | 2000홍콩 |
| 저항 | 1×10-5옴*cm |
| 열 안정성 | <2500℃ |
| 흑연 크기 변화 | -10~-20um |
| 코팅 두께 | ≥20um 일반 값(35um±10um) |
TaC 코팅 EDX 데이터：
TaC 코팅 결정 구조 데이터:
| 요소 | 원자퍼센트 | |||
| 백금. 1 | 백금. 2 | 백금. 3 | 평균 | |
| 씨케이 | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| 그들을 | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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탄탈륨 카바이드 코팅 링
중국 내 탄탈륨 카바이드 코팅 링 제품의 전문 혁신가이자 리더인 VeTek 반도체 탄탈륨 카바이드 코팅 링은 탁월한 고온 저항, 내마모성 및 뛰어난 열 전도성으로 SiC 결정 성장에서 대체할 수 없는 역할을 합니다. 추가 상담을 환영합니다.
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다공성 탄탈륨 탄화물
VeTek Semiconductor는 중국의 다공성 탄탈륨 카바이드 제품 전문 제조업체이자 리더입니다. 다공성 탄탈륨 탄화물은 일반적으로 화학 기상 증착(CVD) 방법으로 제조되므로 기공 크기와 분포를 정밀하게 제어할 수 있으며 고온 극한 환경 전용 재료 도구입니다. 추가 상담을 환영합니다.
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탄탈륨 카바이드 링
VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring은 중국의 탄탈륨 카바이드 링 제품의 고급 제조업체이자 생산업체로서 매우 높은 경도, 내마모성, 고온 저항 및 화학적 안정성을 갖추고 있으며 반도체 제조 분야에서 널리 사용됩니다. 특히 CVD, PVD, 이온주입공정, 식각공정, 웨이퍼 가공 및 운송 분야에서 반도체 가공 및 제조에 꼭 필요한 제품입니다. 앞으로도 많은 상담 부탁드립니다.
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탄탈륨 카바이드 코팅 지원
중국의 전문 탄탈륨 카바이드 코팅 지원 제품 제조업체 및 공장인 VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅 지원은 일반적으로 반도체 장비의 구조 부품 또는 지지 부품의 표면 코팅, 특히 다음과 같은 반도체 제조 공정의 핵심 장비 부품 표면 보호에 사용됩니다. CVD 및 PVD. 추가 상담을 환영합니다.
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탄탈륨 카바이드 가이드 링
VeTek Semiconductor는 중국의 탄탈륨 카바이드 가이드 링 제품 전문 제조업체이자 리더입니다. 당사의 탄탈륨 카바이드(TaC) 가이드 링은 탄탈륨 카바이드로 제작된 고성능 링 부품으로 반도체 공정 장비, 특히 CVD, PVD, 에칭 및 확산과 같은 고온 및 부식성이 높은 환경에서 일반적으로 사용됩니다. VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 첨단 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 귀하의 추가 문의를 환영합니다.
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TaC 코팅 회전 서셉터
중국 TaC 코팅 회전 서셉터 제품의 전문 제조업체이자 혁신가이자 리더입니다. VeTek Semiconductor TaC 코팅 회전 서셉터는 일반적으로 화학 기상 증착(CVD) 및 분자선 에피택시(MBE) 장비에 설치되어 웨이퍼를 지지하고 회전시켜 균일한 재료 증착과 효율적인 반응을 보장합니다. 반도체 공정의 핵심 부품입니다. 추가 상담을 환영합니다.
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중국의 전문 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.
