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제품
중국 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장
VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.
주요 제품은탄탈륨 카바이드 코팅 디펙터 링, TaC 코팅 전환 링, TaC 코팅 반달 부품, 탄탈륨 카바이드 코팅 행성 회전 디스크(Aixtron G10), TaC 코팅 도가니; TaC 코팅 링; TaC 코팅된 다공성 흑연; 탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 서셉터; TaC 코팅 가이드 링; TaC 탄탈륨 카바이드 코팅 플레이트; TaC 코팅 웨이퍼 서셉터; TaC 코팅링; TaC 코팅 흑연 커버; TaC 코팅 청크등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.
탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열 충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받아 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되었습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.
주요 특징:
온도 안정성
초고순도
H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성
열 재고에 대한 저항
흑연과의 강한 접착력
컨포멀 코팅 적용 범위
직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)
응용:
웨이퍼 캐리어
유도 가열 서셉터
저항 가열 요소
위성 디스크
샤워기
가이드 링
LED 에피 수신기
분사노즐
마스킹 링
열 차폐
미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:
VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:
| TaC 코팅의 물리적 특성 | |
| 밀도 | 14.3(g/cm3) |
| 특정 방사율 | 0.3 |
| 열팽창계수 | 6.3 10-6/케이 |
| Hardness (HK) | 2000홍콩 |
| 저항 | 1×10-5옴*cm |
| 열 안정성 | <2500℃ |
| 흑연 크기 변화 | -10~-20um |
| 코팅 두께 | ≥20um 일반 값(35um±10um) |
TaC 코팅 EDX 데이터：
TaC 코팅 결정 구조 데이터
| 요소 | 원자퍼센트 | |||
| 백금. 1 | 백금. 2 | 백금. 3 | 평균 | |
| 씨케이 | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| 타 남 | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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CVD TaC 코팅 도가니
VeTek Semiconductor는 중국의 CVD TaC 코팅 도가니 제품 전문 제조업체이자 리더입니다. CVD TaC 코팅 도가니는 탄탈륨 탄소(TaC) 코팅을 기반으로 합니다. 화학기상증착(CVD) 공정을 통해 도가니 표면에 탄탈륨 카본 코팅을 균일하게 코팅해 내열성과 내식성을 높였습니다. 고온 극한 환경에서 특별히 사용되는 재료 도구입니다. 추가 상담을 환영합니다.
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CVD TaC 코팅 웨이퍼 캐리어
중국의 전문 CVD TaC 코팅 웨이퍼 캐리어 제품 제조업체이자 공장인 VeTek Semiconductor CVD TaC 코팅 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조의 고온 및 부식 환경을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 운반 도구입니다. 이 제품은 높은 기계적 강도, 우수한 내식성 및 열 안정성을 갖추고 있어 고품질 반도체 장치 제조에 필요한 보증을 제공합니다. 추가 문의를 환영합니다.
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TaC 코팅히터
VeTek Semiconductor는 중국 TaC 코팅 히터의 선도적인 제조업체이자 혁신업체입니다. 이 제품은 녹는점이 매우 높습니다(약 3880°C). TaC 코팅 히터는 녹는점이 높아 매우 높은 온도, 특히 MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착) 공정에서 질화갈륨(GaN) 에피층 성장 시 매우 높은 온도에서 작동할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
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CVD TAC 코팅
VeTek Semiconductor는 중국 내 CVD TAC 코팅 분야의 선도적인 제조업체이자 혁신업체이자 리더입니다. 수년간 CVD TaC 코팅 커버, CVD TaC 코팅 링, CVD TaC 코팅 캐리어 등 다양한 CVD TAC 코팅 제품에 주력해 왔습니다. VeTek Semiconductor는 맞춤형 제품 서비스와 만족스러운 제품 가격을 지원하며 앞으로도 많은 기대 부탁드립니다. 상의.
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중국의 전문 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.
