탄탈륨 카바이드 가이드 링

VeTek Semiconductor는 중국의 탄탈륨 카바이드 가이드 링 제품 전문 제조업체이자 리더입니다. 당사의 탄탈륨 카바이드(TaC) 가이드 링은 탄탈륨 카바이드로 제작된 고성능 링 부품으로 반도체 공정 장비, 특히 CVD, PVD, 에칭 및 확산과 같은 고온 및 부식성이 높은 환경에서 일반적으로 사용됩니다. VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 첨단 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 귀하의 추가 문의를 환영합니다.

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제품 설명

VeTek 반도체탄탈륨 카바이드 가이드 린g에서 제작됩니다석묵그리고탄탈륨 카바이드로 코팅, 우수한 성능과 수명을 보장하기 위해 두 재료의 최고의 특성을 활용하는 조합입니다.

그만큼TaC 코팅탄탈륨 카바이드 가이드 링은 종종 수소, 아르곤 및 질소와 같은 가스가 포함되는 SiC 결정 성장로의 반응성 대기에서 화학적으로 불활성 상태를 유지합니다. 이러한 화학적 불활성은 최종 반도체 제품의 결함 및 성능 저하로 이어질 수 있는 성장하는 결정의 오염을 방지하는 데 필수적입니다. 또한, TaC 코팅이 제공하는 열 안정성 덕분에 탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링은 필요한 고온에서 효과적으로 작동할 수 있습니다.SiC 결정 성장, 일반적으로 2000°C를 초과합니다.

또한, 탄탈륨 카바이드 코팅 링에 흑연과 TaC를 결합하면 결정 성장로 내 열 관리가 최적화됩니다. 흑연의 높은 열 전도성은 열을 효율적으로 분산시켜 핫스팟을 방지하고 균일한 결정 성장을 촉진합니다. 한편, 탄탈륨 카바이드 코팅은 열 장벽 역할을 하여 흑연 코어가 고온 및 반응성 가스에 직접 노출되지 않도록 보호합니다. 코어와 코팅 재료 사이의 이러한 시너지 효과로 인해 SiC 결정 성장의 가혹한 조건을 견딜 수 있을 뿐만 아니라 공정의 전반적인 효율성과 품질이 향상되는 가이드 링이 탄생합니다.

VeTek 반도체탄탈륨 카바이드의 기계적 특성은 탄탈륨 카바이드 코팅 링의 마모를 크게 줄여줍니다. 이는 반복적인 작업 특성으로 인해 매우 중요합니다.결정 성장 과정이는 가이드 링을 빈번한 열 주기 및 기계적 응력에 노출시킵니다. 탄탈륨 카바이드의 경도와 내마모성은 가이드 링이 장기간에 걸쳐 구조적 무결성과 정확한 치수를 유지하도록 보장하여 빈번한 교체 필요성을 최소화하고 제조 공정의 가동 중지 시간을 줄입니다.

VeTek 반도체탄탈륨 카바이드 코팅 가이드 링은 반도체 산업의 필수 구성 요소로, 특히 성장을 위해 설계되었습니다.실리콘 카바이드 결정. 이 설계는 흑연과 탄탈륨 탄화물의 장점을 활용하여 고온, 고응력 환경에서 탁월한 성능을 제공합니다. TaC 코팅은 고품질 SiC 결정을 생산하는 데 중요한 화학적 불활성, 기계적 내구성 및 열 안정성을 보장합니다. 가이드 링은 극한 조건에서도 무결성과 기능성을 유지함으로써 SiC 결정의 효율적이고 결함 없는 성장을 지원하여 고전력 및 고주파 반도체 장치의 발전에 기여합니다.

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

TaC 코팅의 물리적 특성:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3*10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)