TaC 코팅 흑연 서셉터

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 흑연 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 방식을 사용하여 흑연 부품 표면에 탄탈륨 카바이드 코팅을 준비합니다. 이 공정은 가장 성숙하고 최고의 코팅 특성을 가지고 있습니다. TaC 코팅 흑연 서셉터는 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 에피택시 품질을 보장할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 문의를 기다리고 있습니다.

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제품 설명

최신 판매, 저렴한 가격 및 고품질 TaC 코팅 흑연 서셉터를 구입하기 위해 저희 공장 VeTek Semiconductor에 오신 것을 환영합니다. 우리는 당신과 협력하기를 기대합니다.

최대 3880℃의 탄탈륨 카바이드 세라믹 재료 융점은 화합물의 융점이 높고 화학적 안정성이 우수하며 고온 환경에서도 안정적인 성능을 유지할 수 있으며 내열성, 내화학성, 내화학성이 우수합니다. 탄소재료와의 기계적 호환성 및 기타 특성이 있어 이상적인 흑연기재 보호코팅재입니다. 탄탈륨 카바이드 코팅은 열악한 사용 환경에서 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속의 영향으로부터 흑연 구성 요소를 효과적으로 보호하고 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 크게 연장하며 흑연에서 불순물의 이동을 억제할 수 있습니다. 에피택시 및 결정 성장의 품질을 보장합니다. 주로 습식 세라믹 공정에 사용됩니다.

화학 기상 증착(CVD)은 흑연 표면에 탄탈륨 카바이드 코팅을 위한 가장 성숙하고 최적의 준비 방법입니다.

TaC 코팅 흑연 서셉터를 위한 CVD TaC 코팅 방법:

코팅 공정에서는 TaCl5와 프로필렌을 각각 탄소 소스와 탄탈륨 소스로 사용하고 아르곤을 운반 가스로 사용하여 고온 가스화 후 탄탈륨 5염화물 증기를 반응 챔버로 가져옵니다. 목표 온도 및 압력 하에서 전구체 물질의 증기가 흑연부 표면에 흡착되어 탄소원과 탄탈륨원의 분해 및 결합 등 일련의 복잡한 화학반응이 일어난다. 동시에 전구체의 확산과 부산물의 탈착과 같은 일련의 표면 반응도 수반됩니다. 마지막으로 흑연부 표면에 치밀한 보호층이 형성되어 극한 환경 조건에서 흑연부가 안정되지 않도록 보호한다. 흑연 재료의 응용 시나리오가 크게 확장되었습니다.

TaC 코팅 흑연 서셉터의 제품 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)