TaC 코팅 예비 부품

VeTek 반도체TaC 코팅판널리 사용되는 특수 소재입니다.반도체제조 공정. TaC 코팅판은 높은 경도와 내마모성, 높은 내열성, 내식성, 낮은 마찰계수 및 우수한 열전도율을 결합하여 반도체 공정의 여러 링크에서 대체할 수 없는 역할을 합니다.

일반적으로 응용 프로그램은TaC 코팅판반도체 공정에서는 다음과 같습니다.

CVD/ALD 성장 기판: TaC 코팅판은 높은 내열성, 화학적 안정성, 낮은 마찰계수로 인해 CVD/ALD 성장 기판에 이상적입니다. 필름의 균일성과 밀도를 보장하기 위해 안정적인 성장 환경을 제공할 수 있습니다.

에칭 마스크 플레이트: TaC 코팅판의 높은 경도와 내식성은 플라즈마 에칭과 같은 고에너지 공정에 견딜 수 있으며, 에칭 마스크 플레이트로서 하부 필름을 보호합니다.

CMP 연마 패드: TaC 코팅판은 내마모성과 낮은 마찰계수로 인해 필름 표면의 파티클 및 결함을 효과적으로 제거할 수 있는 CMP 연마 패드 소재로 적합합니다.

고온로 튜브: TaC 코팅판의 내열성 및 내식성은 고온로에서 고온 어닐링, 확산 및 기타 공정을 위한 노 튜브로 사용할 수 있습니다.

제품의 특성과 결합하여TaC 코팅판, 이는 이 제품이 장치 성능 향상, 장비 수명 연장 및 생산 효율성 향상에 있어서 대체할 수 없는 핵심 역할을 한다고 판단합니다. 

전문 제조 업체로서SiC 에피 수용체의 GaN, 다공성 흑연그리고TaC 코팅판중국에서 VeTek Semiconductor는 항상 맞춤형 제품 서비스 제공을 고집하며 업계 최고의 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 고객님의 추가 상담을 진심으로 기다리겠습니다.

CVD TAC 코팅 기술 매개변수：

TaC 코팅 부품 판매점：

반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요：