TaC 코팅 가이드 링

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 가이드 링은 화학 기상 증착(CVD)이라는 첨단 기술을 사용하여 흑연 부품에 탄탈륨 카바이드 코팅을 적용하여 만들어졌습니다. 이 방법은 잘 확립되어 있으며 뛰어난 코팅 특성을 제공합니다. TaC 코팅 가이드 링을 활용하면 흑연 부품의 수명을 대폭 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 SiC 및 AIN 단결정 품질을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 전문적인 중국 TaC 코팅 가이드 링, TaC 코팅 도가니, 시드 홀더 제조업체 및 공급업체입니다.

SiC 및 AIN 단결정 로의 TaC 코팅 도가니, 시드 홀더 및 TaC 코팅 가이드 링은 PVT 방법으로 성장되었습니다.

물리적 증기 수송법(PVT)을 사용하여 SiC를 제조하는 경우 종자 결정은 상대적으로 낮은 온도 영역에 있고 SiC 원료는 상대적으로 높은 온도 영역(2400℃ 이상)에 있습니다. 원료 분해를 통해 SiXCy(주로 Si, SiC₂, Si₂C 등 포함)가 생성됩니다. 기상 물질은 고온 영역에서 저온 영역의 종자정으로 이동하여 핵을 생성하고 성장합니다. 단결정을 형성합니다. 도가니, 유동 가이드 링, 종자 결정 홀더 등 이 공정에 사용되는 열장 재료는 고온에 강해야 하며 SiC 원료 및 SiC 단결정을 오염시키지 않아야 합니다. 마찬가지로, AlN 단결정 성장에 사용되는 발열체는 Al 증기, N2 부식에 대한 내성이 있어야 하며 결정 준비 기간을 단축하기 위해 높은 공융 온도(및 AlN)가 필요합니다.

TaC로 코팅된 흑연 열전계 소재로 제조된 SiC와 AlN은 더욱 깨끗하고 탄소(산소, 질소) 및 기타 불순물이 거의 없으며, 에지 결함이 적고, 각 영역의 저항률이 낮으며, 미세 기공 밀도와 에칭 피트 밀도가 우수한 것으로 나타났습니다. (KOH 에칭 후) 결정 품질이 크게 향상되었습니다. 또한, TaC 도가니 중량 감소율은 거의 0이고 외관은 비파괴적이며 재활용이 가능하고(최대 수명 200시간) 단결정 제조의 지속 가능성과 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

TaC 코팅 가이드 링의 제품 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)