VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.
당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.
VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.
당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.
CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성 | |
재산 | 일반적인 값 |
결정 구조 | FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향 |
밀도 | 3.21g/cm³ |
경도 | 비커스 경도 2500(500g 하중) |
입자 크기 | 2~10μm |
화학적 순도 | 99.99995% |
열용량 | 640 J·kg-1·K-1 |
승화 온도 | 2700℃ |
굴곡강도 | 415MPa RT 4점 |
영률 | 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃ |
열전도율 | 300W·m-1·K-1 |
열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor는 고품질 실리콘 기반 GaN 에피택셜 서셉터를 제공하는 데 전념하는 전문 제조업체 및 공급업체입니다. 서셉터 반도체는 VEECO K465i GaN MOCVD 시스템, 고순도, 고온 저항, 내식성에 사용됩니다. 문의 및 협력을 환영합니다!
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor는 중국의 LPE 반응기 제조업체이자 혁신업체를 위한 선도적인 8인치 하프문 부품입니다. 우리는 수년 동안 SiC 코팅 재료를 전문으로 해왔습니다. 우리는 LPE SiC 에피택시 반응기를 위해 특별히 설계된 LPE 반응기용 8인치 하프문 부품을 제공합니다. 이 반달형 부품은 최적의 크기, 호환성 및 높은 생산성을 갖춘 반도체 제조를 위한 다양하고 효율적인 솔루션입니다. 중국에 있는 당사 공장을 방문하신 것을 환영합니다.
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor는 LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용 SiC 코팅 팬케이크 서셉터를 선도하는 중국 제조업체이자 혁신업체입니다. 우리는 수년 동안 SiC 코팅 재료를 전문적으로 사용해 왔습니다. 우리는 LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용으로 특별히 설계된 SiC 코팅 팬케이크 서셉터를 제공합니다. . 이 에피택셜 서셉터는 높은 내식성, 우수한 열전도 성능, 우수한 균일성을 특징으로 합니다. 중국에 있는 저희 공장을 방문해 주신 것을 환영합니다.
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor는 중국의 LPE PE2061S 제조업체이자 혁신업체를 위한 선도적인 SiC 코팅 지지대입니다. 우리는 수년 동안 SiC 코팅 재료를 전문으로 해왔습니다. 우리는 LPE 실리콘 에피택시 반응기를 위해 특별히 설계된 LPE PE2061S용 SiC 코팅 지지대를 제공합니다. LPE PE2061S용 SiC 코팅 지지대는 배럴 서셉터의 바닥입니다. 섭씨 1600도의 고온을 견딜 수 있으며 흑연 예비 부품의 제품 수명을 연장할 수 있습니다. 문의를 환영합니다.
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor는 중국의 LPE PE2061S 제조업체이자 혁신업체를 위한 선도적인 SiC 코팅 상단 플레이트입니다. 우리는 수년 동안 SiC 코팅 재료를 전문으로 해왔습니다. 우리는 LPE 실리콘 에피택시 반응기를 위해 특별히 설계된 LPE PE2061S용 SiC 코팅 상단 플레이트를 제공합니다. LPE PE2061S용 SiC 코팅 탑 플레이트는 배럴 서셉터와 함께 탑 플레이트입니다. 이 CVD SiC 코팅 플레이트는 고순도, 우수한 열 안정성 및 균일성을 자랑하므로 고품질 에피층 성장에 적합합니다. 저희 공장 방문을 환영합니다. 중국에서.
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor는 LPE PE2061S를 위한 선도적인 SiC 코팅 배럴 서셉터 제조업체이자 중국의 혁신업체입니다. 우리는 수년 동안 SiC 코팅 재료를 전문적으로 사용해 왔습니다. 우리는 LPE PE2061S 4'' 웨이퍼용으로 특별히 설계된 SiC 코팅 배럴 서셉터를 제공합니다. 이 서셉터는 LPE(액상 에피택시) 공정 중 성능과 내구성을 향상시키는 내구성 있는 탄화규소 코팅이 특징입니다. 중국 공장 방문을 환영합니다.
더 읽어보기문의 보내기