LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용 SiC 코팅 팬케이크 서셉터

VeTek Semiconductor는 LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용 SiC 코팅 팬케이크 서셉터를 선도하는 중국 제조업체이자 혁신업체입니다. 우리는 수년 동안 SiC 코팅 재료를 전문적으로 사용해 왔습니다. 우리는 LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용으로 특별히 설계된 SiC 코팅 팬케이크 서셉터를 제공합니다. . 이 에피택셜 서셉터는 높은 내식성, 우수한 열전도 성능, 우수한 균일성을 특징으로 합니다. 중국에 있는 저희 공장을 방문해 주신 것을 환영합니다.

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제품 설명

전문 제조업체인 VeTek Semiconductor는 LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용 고품질 SiC 코팅 팬케이크 서셉터를 제공하고자 합니다.

LPE PE3061S 6" 웨이퍼용 VeTeK Semiconductor SiC 코팅 팬케이크 서셉터는 반도체 제조 공정에 사용되는 중요한 장비입니다.

LPE PE3061S 6" 웨이퍼용 SiC 코팅 팬케이크 서셉터 제품 특징:

고온 안정성: SiC는 뛰어난 고온 안정성을 나타내며 고온 환경에서도 구조와 성능을 유지합니다.

뛰어난 열 전도성: SiC는 뛰어난 열 전도성을 갖고 있어 빠르고 균일한 열 전달을 통해 빠르고 균일한 가열이 가능합니다.

내식성: SiC는 화학적 안정성이 뛰어나 다양한 가열 환경에서 부식 및 산화에 저항합니다.

균일한 가열 분포: SiC 코팅 웨이퍼 캐리어는 균일한 가열 분포를 제공하여 가열 중에 웨이퍼 표면 전체에 균일한 온도를 보장합니다.

반도체 생산에 적합: Si 에피택시 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조 공정, 특히 Si 에피택시 성장 및 기타 고온 가열 공정에 널리 사용됩니다.

제품 장점:

생산 효율성 향상: SiC 코팅 팬케이크 서셉터는 빠르고 균일한 가열을 가능하게 하여 가열 시간을 단축하고 생산 효율성을 향상시킵니다.

제품 품질 보장: 균일한 열 분포는 웨이퍼 처리 중 일관성을 보장하여 제품 품질을 향상시킵니다.

장비 수명 연장: SiC 소재는 뛰어난 내열성과 화학적 안정성을 제공하여 팬케이크 서셉터의 수명 연장에 기여합니다.

맞춤형 솔루션: SiC 코팅 서셉터, Si 에피택시 웨이퍼 캐리어는 고객 요구 사항에 따라 다양한 크기와 사양에 맞게 맞춤화될 수 있습니다.

SEM data and structure of CVD SIC films

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도	3.21g/cm³
경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640 J·kg-1·K-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m-1·K-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K-1