CVD TAC 코팅이란?

우리 모두 알고 있듯이,TaC융점은 최대 3880°C입니다., 높은 기계적 강도, 경도, 열 충격 저항; 고온에서 암모니아, 수소, 실리콘 함유 증기에 대한 화학적 불활성 및 열 안정성이 우수합니다.

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드 코팅

CVD TAC 코팅, 화학기상증착(CVD)탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅는 기판(보통 흑연)에 고밀도의 내구성 있는 코팅을 형성하는 공정입니다. 이 방법은 고온에서 기판 표면에 TaC를 증착하여 우수한 열 안정성과 내화학성을 갖춘 코팅을 만드는 방법입니다.

CVD TaC 코팅의 주요 장점은 다음과 같습니다.

매우 높은 열 안정성: 2200°C 이상의 온도를 견딜 수 있습니다.

내화학성: 수소, 암모니아, 실리콘 증기와 같은 가혹한 화학 물질에 효과적으로 저항할 수 있습니다.

강한 접착력: 박리 현상 없이 오래 지속되는 보호를 보장합니다.

고순도: 불순물을 최소화하여 반도체 용도에 적합합니다.

이러한 코팅은 특히 반도체 제조 및 고온 산업 공정과 같이 높은 내구성과 극한 조건에 대한 내성이 요구되는 환경에 적합합니다.

산업 생산에서 TaC 코팅이 코팅된 흑연(탄소-탄소 복합) 소재는 기존의 고순도 흑연, pBN 코팅, SiC 코팅 부품 등을 대체할 가능성이 매우 높습니다. 또한 항공우주 분야에서도 TaC는 큰 잠재력을 가지고 있습니다. 고온 항산화 및 제거 방지 코팅으로 사용되며 광범위한 응용 전망을 가지고 있습니다. 그러나 흑연 표면에 조밀하고 균일하며 박편이 발생하지 않는 TaC 코팅을 제조하고 산업적 대량 생산을 촉진하는 데는 여전히 많은 과제가 남아 있습니다.

이 과정에서 코팅의 보호 메커니즘을 탐구하고 생산 공정을 혁신하며 해외 최고 수준과의 경쟁이 3세대에게 중요합니다.반도체 결정 성장 및 에피택시.

VeTek Semiconductor는 다음과 같은 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 제품의 전문 중국 제조업체입니다.CVD TaC 코팅 도가니, CVD TaC 코팅 웨이퍼 캐리어, CVD TaC 코팅 캐리어,CVD TaC 코팅 커버, CVD TaC 코팅링. VeTek Semiconductor는 반도체 산업의 다양한 코팅 제품에 대한 고급 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

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