CVD TAC 코팅이란?

우리 모두 알고 있듯이,TaC최대 3880°C의 융점, 높은 기계적 강도, 경도, 열충격 저항성을 갖고 있습니다. 고온에서 암모니아, 수소, 실리콘 함유 증기에 대한 화학적 불활성 및 열 안정성이 우수합니다.

CVD TAC 코팅, 화학기상증착(CVD)탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅는 기판(보통 흑연)에 고밀도의 내구성 있는 코팅을 형성하는 공정입니다. 이 방법은 고온에서 기판 표면에 TaC를 증착하여 우수한 열 안정성과 내화학성을 갖춘 코팅을 만드는 방법입니다.

CVD TaC 코팅의 주요 장점은 다음과 같습니다.

매우 높은 열 안정성: 2200°C 이상의 온도를 견딜 수 있습니다.

내화학성: 수소, 암모니아, 실리콘 증기와 같은 가혹한 화학 물질에 효과적으로 저항할 수 있습니다.

강한 접착력: 박리 현상 없이 오래 지속되는 보호를 보장합니다.

고순도: 불순물을 최소화하여 반도체 용도에 적합합니다.

이러한 코팅은 특히 반도체 제조, 고온 산업 공정 등 극한 조건에 대한 높은 내구성과 저항성을 요구하는 환경에 적합합니다.

산업 생산에서 TaC 코팅이 코팅된 흑연(탄소-탄소 복합) 소재는 기존의 고순도 흑연, pBN 코팅, SiC 코팅 부품 등을 대체할 가능성이 매우 높습니다. 또한 항공우주 분야에서도 TaC는 큰 잠재력을 가지고 있습니다. 고온 항산화 및 제거 방지 코팅으로 사용되며 광범위한 응용 전망을 가지고 있습니다. 그러나 흑연 표면에 조밀하고 균일하며 박편이 발생하지 않는 TaC 코팅을 제조하고 산업적 대량 생산을 촉진하는 데는 여전히 많은 과제가 남아 있습니다.

이 과정에서 코팅의 보호 메커니즘 탐구, 생산 공정 혁신, 해외 최고 수준과의 경쟁은 3세대 반도체 결정 성장 및 에피택시를 위해 매우 중요합니다.