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중국 실리콘 카바이드 세라믹 제조업체, 공급업체, 공장

VeTek Semiconductor는 반도체 처리 분야의 혁신적인 파트너입니다. 광범위한 반도체급 실리콘 카바이드 세라믹 재료 조합, 부품 제조 역량 및 응용 엔지니어링 서비스 포트폴리오를 통해 당사는 귀하가 심각한 과제를 극복하도록 도울 수 있습니다. 엔지니어링 기술 실리콘 카바이드 세라믹은 탁월한 재료 성능으로 인해 반도체 산업에 널리 적용됩니다. VeTek Semiconductor의 초순수 탄화규소 세라믹은 반도체 제조 및 가공의 전체 주기에 걸쳐 자주 사용됩니다.

확산 및 LPCVD 공정

VeTek Semiconductor는 다음을 포함하여 배치 확산 및 LPCVD 요구 사항을 위해 특별히 설계된 엔지니어링 세라믹 부품을 제공합니다.

• 배플 및 홀더
• 주사기
• 라이너 및 프로세스 튜브
• 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들
• 웨이퍼 보트 및 받침대

SiC 캔틸레버 패들 SiC 공정 튜브 실리콘 카바이드 프로세스 튜브 SiC 수직형 웨이퍼 보트 SiC 수평형 웨이퍼 보트 SiC 수평형 쿼어 웨이퍼 보트 SiC LPCVD 웨이퍼 보트 SiC 수평 플레이트 보트 SiC 원형 웨이퍼 보트

에칭 공정 구성 요소

다음을 포함하여 엄격한 플라즈마 식각 공정을 위해 설계된 고순도 구성 요소를 사용하여 오염과 예정되지 않은 유지 관리를 최소화합니다.

초점 링

노즐

방패

샤워기

창문 / 뚜껑

기타 맞춤 구성요소

급속 열 처리 및 에피택셜 공정 구성 요소

VeTek Semiconductor는 반도체 산업의 고온 열 처리 응용 분야에 맞춰진 고급 소재 부품을 제공합니다. 이러한 응용 분야에는 RTP, Epi 공정, 확산, 산화 및 어닐링이 포함됩니다. 당사의 기술 세라믹은 열충격을 견디도록 설계되어 안정적이고 일관된 성능을 제공합니다. VeTek Semiconductor의 부품을 통해 반도체 제조업체는 효율적이고 고품질의 열 처리를 달성하여 반도체 생산의 전반적인 성공에 기여할 수 있습니다.

• 디퓨저

• 절연체

• 서셉터

• 기타 맞춤형 열 구성 요소

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)
SiC/SiC 함량	> 99.96%
Si / 자유 Si 함량	< 0.1%
부피 밀도	2.60-2.70g/cm3
겉보기 다공성	< 16%
압축강도	> 600MPa
냉간 굽힘 강도	80-90MPa(20°C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
열팽창 @1500°C	4.70 10-6/°C
열전도도 @1200°C	23 W/m•K
탄성률	240GPa
열충격 저항	매우 좋은

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SiC 프로세스 튜브

VeTek Semiconductor는 반도체 제조용 고성능 SiC 공정 튜브를 제공합니다. 당사의 SiC 공정 튜브는 산화, 확산 공정에 탁월합니다. 우수한 품질과 장인정신을 갖춘 이 튜브는 효율적인 반도체 처리를 위한 고온 안정성과 열 전도성을 제공합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격을 제공하고 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다.

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SiC 캔틸레버 패들

VeTek Semiconductor의 SiC 캔틸레버 패들은 매우 고성능 제품입니다. 당사의 SiC 캔틸레버 패들은 일반적으로 반도체 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼, 화학 기상 증착(CVD) 및 기타 처리 공정을 취급하고 지지하기 위한 열처리로에 사용됩니다. SiC 소재의 높은 온도 안정성과 높은 열전도율은 반도체 공정 공정에서 높은 효율성과 신뢰성을 보장합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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수평로용 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

VeTek Semiconductor는 중국 내 수평로용 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 전문 제조 및 공급업체로, 다년간의 R&D 및 생산 경험을 바탕으로 품질을 잘 관리하고 경쟁력 있는 가격을 제공할 수 있습니다. 수평로용 탄화규소 웨이퍼 보트를 당사에서 구입하시면 안심하실 수 있습니다.

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SiC 코팅 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

VeTek Semiconductor는 중국의 SiC 코팅 탄화규소 웨이퍼 보트 전문 제조업체이자 공급업체로, 수년간의 R&D 및 생산 경험을 바탕으로 품질을 잘 관리하고 경쟁력 있는 가격을 제공할 수 있습니다. 저희 공장 방문을 환영하며 협력에 관해 추가 논의를 가졌습니다.

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실리콘 카바이드 캔틸레버 패들

VeTek Semiconductor의 탄화규소 캔틸레버 패들은 반도체 제조 공정에서 중요한 구성 요소로, 특히 확산 및 RTP와 같은 고온 공정의 확산로 또는 LPCVD로에 적합합니다. 당사의 탄화규소 캔틸레버 패들은 우수한 고온 저항성과 기계적 강도로 세심하게 설계 및 제조되었으며, 확산 및 RTP 등 다양한 고온 공정의 가혹한 공정 조건에서도 웨이퍼를 공정 튜브까지 안전하고 안정적으로 이송할 수 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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고순도 실리콘 카바이드 웨이퍼 캐리어

VeTek Semiconductor 고순도 실리콘 카바이드 웨이퍼 캐리어는 반도체 공정의 중요한 구성 요소로, 섬세한 실리콘 웨이퍼를 안전하게 고정하고 운반하도록 설계되어 제조의 모든 단계에서 핵심적인 역할을 합니다. VeTek Semiconductor의 고순도 실리콘 카바이드 웨이퍼 캐리어는 탁월한 성능과 신뢰성을 보장하도록 세심하게 설계 및 제조되었습니다. VeTek Semiconductor는 고품질의 제품을 경쟁력 있는 가격으로 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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중국의 전문 실리콘 카바이드 세라믹 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 실리콘 카바이드 세라믹을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.