> 제품 > 실리콘 카바이드 세라믹

제품

신제품

중국 실리콘 카바이드 세라믹 제조업체, 공급업체, 공장

VeTek Semiconductor는 반도체 처리 분야의 혁신적인 파트너입니다. 광범위한 반도체급 실리콘 카바이드 세라믹 재료 조합, 부품 제조 역량 및 응용 엔지니어링 서비스 포트폴리오를 통해 당사는 귀하가 심각한 과제를 극복하도록 도울 수 있습니다. 엔지니어링 기술 실리콘 카바이드 세라믹은 탁월한 재료 성능으로 인해 반도체 산업에 널리 적용됩니다. VeTek Semiconductor의 초순수 탄화규소 세라믹은 반도체 제조 및 가공의 전체 주기에 걸쳐 자주 사용됩니다.

확산 및 LPCVD 공정

VeTek Semiconductor는 다음을 포함하여 배치 확산 및 LPCVD 요구 사항을 위해 특별히 설계된 엔지니어링 세라믹 부품을 제공합니다.

• 배플 및 홀더
• 주사기
• 라이너 및 프로세스 튜브
• 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들
• 웨이퍼 보트 및 받침대

SiC 캔틸레버 패들 SiC 공정 튜브 실리콘 카바이드 프로세스 튜브 SiC 수직형 웨이퍼 보트 SiC 수평형 웨이퍼 보트 SiC 수평형 쿼어 웨이퍼 보트 SiC LPCVD 웨이퍼 보트 SiC 수평 플레이트 보트 SiC 원형 웨이퍼 보트

에칭 공정 구성 요소

다음을 포함하여 엄격한 플라즈마 식각 공정을 위해 설계된 고순도 구성 요소를 사용하여 오염과 예정되지 않은 유지 관리를 최소화합니다.

초점 링

노즐

방패

샤워기

창문 / 뚜껑

기타 맞춤 구성요소

급속 열 처리 및 에피택셜 공정 구성 요소

VeTek Semiconductor는 반도체 산업의 고온 열 처리 응용 분야에 맞춰진 고급 소재 부품을 제공합니다. 이러한 응용 분야에는 RTP, Epi 공정, 확산, 산화 및 어닐링이 포함됩니다. 당사의 기술 세라믹은 열충격을 견디도록 설계되어 안정적이고 일관된 성능을 제공합니다. VeTek Semiconductor의 부품을 통해 반도체 제조업체는 효율적이고 고품질의 열 처리를 달성하여 반도체 생산의 전반적인 성공에 기여할 수 있습니다.

• 디퓨저

• 절연체

• 서셉터

• 기타 맞춤형 열 구성 요소

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)
SiC/SiC 함량	> 99.96%
Si / 자유 Si 함량	< 0.1%
부피 밀도	2.60-2.70g/cm3
겉보기 다공성	< 16%
압축강도	> 600MPa
냉간 굽힘 강도	80-90MPa(20°C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
열팽창 @1500°C	4.70 10-6/°C
열전도도 @1200°C	23 W/m•K
탄성률	240GPa
열충격 저항	매우 좋은

View as

고순도 SiC 캔틸레버 패들

VeTek Semiconductor는 중국의 고순도 SiC 캔틸레버 패들의 선도적인 제조업체이자 혁신업체입니다. 고순도 SiC 캔틸레버 패들은 일반적으로 반도체 확산로에서 웨이퍼 이송 또는 로딩 플랫폼으로 사용됩니다. VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

더 읽어보기 문의 보내기

수직 기둥 웨이퍼 보트 및 받침대

중국의 전문 수직 기둥 웨이퍼 보트 및 받침대 제조업체 및 공급업체인 Vetek Semiconductor의 수직 기둥 웨이퍼 보트 및 받침대는 고순도 석영 또는 실리콘 탄소 세라믹(SiC) 재료로 만들어졌으며 우수한 고온 저항, 화학적 안정성 및 기계적 강도를 갖습니다. , 반도체 제조 공정에서 없어서는 안 될 핵심 부품입니다. 추가 상담을 환영합니다.

더 읽어보기 문의 보내기

연속 웨이퍼 보트

Vetek Semiconductor 연속 웨이퍼 보트는 반도체 공정을 위한 첨단 장비입니다. 연속 웨이퍼 보트의 제품 구조는 정밀 웨이퍼의 효율적인 처리 및 생산을 보장하도록 세심하게 설계되었습니다. Vetek Semiconductor는 반도체 산업에 탁월한 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

더 읽어보기 문의 보내기

실리콘 온 절연체 웨이퍼

VeTek Semiconductor는 Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base 및 TaC Coated Graphite Base를 전문적으로 생산하는 중국 제조업체입니다. VeTek Semiconductor의 Silicon On Insulator Wafer는 중요한 반도체 기판 재료이며 우수한 제품 특성으로 인해 고성능, 저전력, 고집적 및 RF 애플리케이션에서 핵심적인 역할을 합니다. 우리는 당신과의 추가 협력을 기대합니다.

더 읽어보기 문의 보내기

수평형 SiC 웨이퍼 캐리어

VeTek Semiconductor는 중국에서 TaC 코팅 가이드 링, 수평형 SiC 웨이퍼 캐리어, SiC 코팅 서셉터를 전문적으로 제조 및 공급하는 업체입니다. 우리는 반도체 산업을 위한 완벽한 기술 지원과 최고의 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 저희에게 연락을 환영합니다.

더 읽어보기 문의 보내기

SiC 웨이퍼 보트

VeTek Semiconductor의 SiC 웨이퍼 보트는 매우 고성능 제품입니다. 당사의 SiC 웨이퍼 보트는 일반적으로 온도가 웨이퍼에 고르게 분포되도록 하고 실리콘 웨이퍼 가공 품질을 향상시키기 위해 반도체 산화 확산로에 사용됩니다. SiC 소재의 높은 온도 안정성과 높은 열 전도성은 효율적이고 안정적인 반도체 처리를 보장합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

더 읽어보기 문의 보내기

<1 2 3 4 >

중국의 전문 실리콘 카바이드 세라믹 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 실리콘 카바이드 세라믹을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.