SiC 웨이퍼 보트

VeTek Semiconductor의 SiC 웨이퍼 보트는 매우 고성능 제품입니다. 당사의 SiC 웨이퍼 보트는 일반적으로 온도가 웨이퍼에 고르게 분포되도록 하고 실리콘 웨이퍼 가공 품질을 향상시키기 위해 반도체 산화 확산로에 사용됩니다. SiC 소재의 높은 온도 안정성과 높은 열 전도성은 효율적이고 안정적인 반도체 처리를 보장합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

SiC 웨이퍼보트에 대한 이해를 돕기 위해 VeTek Semiconductor의 고품질 SiC 웨이퍼보트를 소개합니다. 더 나은 미래를 만들기 위해 계속해서 협력할 신규 고객과 기존 고객을 환영합니다!

SiC 웨이퍼 보트 애플리케이션 개요:

SiC 수평 사각 웨이퍼 보트는 고온 확산 공정에서 웨이퍼 지지대 역할을 하는 중요한 구성 요소 역할을 합니다. 이 보트는 처리 중 섬세한 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 처리하는 데 중요한 역할을 합니다.

SiC 웨이퍼 보트 기능 요구 사항:

고온 강도: 보트는 고온 처리의 가혹한 환경을 견딜 수 있도록 고온에서 탁월한 강도를 보여야 합니다.

고온 화학적 안정성: 극한의 고온 조건에서 구조적 무결성과 화학적 조성을 유지하면 공정 순도가 보장됩니다.

무입자 성능: 보트는 처리된 웨이퍼의 품질을 보호하기 위해 입자 생성이나 오염이 없어야 합니다.

Vetek Semiconductor의 SiC 웨이퍼 보트를 선택하는 이유는 무엇입니까?

다양한 사양: Vetek Semiconductor는 다양한 표준 사양을 제공하고 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 서비스를 제공합니다.

품질 및 속도: Vetek Semiconductor는 빠르게 변화하는 산업의 요구 사항을 충족하면서 고품질 제품과 신속한 배송을 보장합니다.

소재 전문성: 조밀한 재결정 탄화규소 소재를 활용하면 보트의 우수한 성능과 수명이 보장됩니다.

고온 임계값: Vetek Semiconductor 보트는 가장 까다로운 고온 공정에 적합한 1600°C의 최대 작동 온도를 자랑합니다.

비용 효율성: Vetek Semiconductor 보트는 매우 경쟁력 있는 비용 대비 성능 비율을 제공하여 가격 대비 가치를 제공합니다.

내구성: 긴 수명을 갖춘 Vetek Semiconductor 보트는 웨이퍼 처리 공정에서 신뢰성과 일관성을 제공합니다.

Vetek Semiconductor는 품질, 맞춤화 옵션, 재료 혁신, 고온 기능, 비용 효율성 및 수명에 대한 헌신으로 시장에서 두각을 나타내고 있으며 전 세계 반도체 제조업체가 선호하는 선택입니다.

SiC 웨이퍼 보트의 제품 매개변수:

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)
SiC 함량	> 99.96%
무료 Si 콘텐츠	< 0.1%
부피 밀도	2.60-2.70g/cm3
겉보기 다공성	< 16%
압축 강도	> 600MPa
냉간 굽힘 강도	80-90MPa(20°C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
열팽창 @1500°C	4.70 10-6/°C
열전도도 @1200°C	23 W/m•K
탄성률	240GPa
열충격 저항	매우 좋은