실리콘 카바이드 캔틸레버 패들

VeTek Semiconductor의 탄화규소 캔틸레버 패들은 반도체 제조 공정에서 중요한 구성 요소로, 특히 확산 및 RTP와 같은 고온 공정의 확산로 또는 LPCVD로에 적합합니다. 당사의 탄화규소 캔틸레버 패들은 우수한 고온 저항성과 기계적 강도로 세심하게 설계 및 제조되었으며, 확산 및 RTP 등 다양한 고온 공정의 가혹한 공정 조건에서도 웨이퍼를 공정 튜브까지 안전하고 안정적으로 이송할 수 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

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제품 설명

VeTek Semiconducto에서 맞춤형 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들을 안심하고 구매하실 수 있습니다. 우리는 당신과의 협력을 기대하고 있습니다. 더 알고 싶으시면 지금 저희에게 문의하실 수 있습니다. 시간 내에 답변해 드리겠습니다!

VeTek Semiconductor의 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 고순도 실리콘 카바이드로 만들어졌으며 뛰어난 내열성과 기계적 강도를 가지고 있습니다. 반도체 제조 공정, 특히 Diffusion이나 LPCVD Furnace, RTP 공정에서 없어서는 안 될 핵심 부품입니다. 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들의 정확한 설계 및 제조는 고정밀 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 웨이퍼의 안전한 위치 지정 및 이송을 보장합니다.

VeTek Semiconductor의 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들(Silicon Carbide Cantilever Paddle)은 실리콘 카바이드를 주재료로 제작되었습니다. 탄화규소는 강도가 높고 열 안정성이 좋은 특성을 갖고 있어 반도체 용광로의 고온 공정 환경에서 가혹한 조건을 견딜 수 있습니다. 탄화규소를 선택하는 이유 중 하나는 반도체 용광로의 고온 환경에 적응할 수 있기 때문입니다.

실리콘 카바이드 캔틸레버 패들의 설계를 통해 용광로의 프로세스 튜브까지 확장되고 튜브 외부의 한쪽 끝이 단단히 고정될 수 있습니다. 이 설계는 처리되는 웨이퍼가 공정 중에 안정적으로 유지되고 지지되도록 보장하며 용광로의 열 환경에 대한 간섭을 최소화합니다.

VeTek Semiconductor는 고품질 SiC 캔틸레버 패들 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사의 제품은 반도체 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 세심하게 설계 및 제조되었습니다. 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들의 탁월한 성능과 신뢰성은 반도체 산업에서 없어서는 안 될 핵심 부품입니다. VeTek Semiconductor는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

실리콘 카바이드 캔틸레버 패들의 제품 매개변수

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)
SiC 함량	> 99.96%
무료 Si 콘텐츠	< 0.1%
부피 밀도	2.60-2.70g/cm3
겉보기 다공성	< 16%
압축강도	> 600MPa
냉간 굽힘 강도	80-90MPa(20°C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
열팽창 @1500°C	4.7010-6/°C
열전도도 @1200°C	23 W/m•K
탄성률	240GPa
열충격 저항	매우 좋은