수평로용 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

VeTek Semiconductor는 중국 내 수평로용 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 전문 제조 및 공급업체로, 다년간의 R&D 및 생산 경험을 바탕으로 품질을 잘 관리하고 경쟁력 있는 가격을 제공할 수 있습니다. 수평로용 탄화규소 웨이퍼 보트를 당사에서 구입하시면 안심하실 수 있습니다.

문의 보내기

제품 설명

수평로용 고품질 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 중국 제조업체인 VeTek Semiconductor에서 제공합니다. 고품질의 수평로용 탄화규소 웨이퍼 보트를 공장에서 저렴한 가격으로 직접 구매하세요. 수평로용 탄화규소 웨이퍼 보트는 고온 처리 중에 웨이퍼를 적재하고 이송하기 위한 용광로 튜브에 사용됩니다. 내열성, 내화학성, 내열성 등 탄화규소 소재의 우수한 특성으로 인해 확산, 산화, CVD, 어닐링 등 다양한 열처리 공정에 널리 사용됩니다.

수평로용 탄화규소 웨이퍼 보트는 탄화규소 재료로 만들어지며 다음과 같은 특징이 있습니다.

1. 높은 경도 및 내마모성: 탄화규소는 다이아몬드 다음으로 경도가 높아 내마모성이 뛰어납니다. 이를 통해 탄화규소 보트는 반복적인 기계적 충격과 마찰을 견딜 수 있어 수명이 연장됩니다.

2. 고온 저항성: 탄화규소의 융점은 2730°C이므로 탄화규소 보트는 고온 환경 및 고온 산화 및 확산과 같은 다양한 반도체 제조 공정에 적합합니다.

3. 낮은 열팽창 계수: 탄화규소는 열팽창 계수가 낮아 고온에서 치수 안정성을 유지하고 보트 변형을 방지하며 웨이퍼 처리 정확도에 영향을 줍니다.

4. 우수한 화학적 안정성: 탄화규소는 대부분의 화학물질에 내성이 있으며 일반적인 산 및 알칼리 용액과 반응하지 않아 웨이퍼의 안전성과 청결을 보장합니다.

우리는 수평형 웨이퍼 보트, 수직형 웨이퍼 보트 및 기타 맞춤형 보트와 같은 다양한 유형의 탄화규소 웨이퍼 보트를 제조할 수 있습니다.

우리는 아래 매개변수를 갖는 고순도 재결정 탄화규소를 사용합니다.

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)
SiC 함량	> 99.96%
무료 Si 콘텐츠	< 0.1%
부피 밀도	2.60-2.70g/cm3
겉보기 다공성	< 16%
압축 강도	> 600MPa
냉간 굽힘 강도	80-90MPa(20°C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
열팽창 @1500°C	4.7010-6/°C
열전도도 @1200°C	23 W/m•K
탄성률	240GPa
열충격 저항	매우 좋은