SiC 코팅 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

VeTek Semiconductor는 중국의 SiC 코팅 탄화규소 웨이퍼 보트 전문 제조업체이자 공급업체로, 수년간의 R&D 및 생산 경험을 바탕으로 품질을 잘 관리하고 경쟁력 있는 가격을 제공할 수 있습니다. 저희 공장 방문을 환영하며 협력에 관해 추가 논의를 가졌습니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 다년간의 경험을 바탕으로 SiC 코팅 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트를 주로 생산하는 중국 제조업체 및 공급업체입니다. 귀하와 비즈니스 관계를 구축하기를 바랍니다.SiC 코팅된 탄화규소 웨이퍼 보트는 이온 주입, 확산 및 어닐링과 같은 다양한 고온 공정을 위한 웨이퍼를 운반하기 위해 반도체 확산로에 사용됩니다. 이는 웨이퍼에 안정적인 환경을 제공하여 처리 중 온도 균일성과 일관성을 보장할 수 있습니다.

SiC 코팅된 탄화규소 웨이퍼 보트는 내열성과 화학적 안정성이 높아 더 높은 온도에서 작동하고 더 긴 수명을 제공합니다. 또한 재료 증발 속도와 가스 흡착 속도가 낮아 웨이퍼 처리에 불순물이 미치는 영향을 줄이는 데 도움이 됩니다.

우리는 수평형 웨이퍼 보트, 수직형 웨이퍼 보트 및 기타 맞춤형 보트와 같은 다양한 유형의 탄화규소 웨이퍼 보트를 제조할 수 있습니다.

고순도 탄화규소의 장점:

1. 고온 안정성

2.화학적 불활성

3.낮은 불순물 함량

4.열전도율

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성
재산	일반적인 값
작동 온도(°C)	1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)
SiC 함량	> 99.96%
무료 Si 콘텐츠	< 0.1%
부피 밀도	2.60-2.70g/cm3
겉보기 다공성	< 16%
압축 강도	> 600MPa
냉간 굽힘 강도	80-90MPa(20°C)
뜨거운 굽힘 강도	90-100MPa(1400°C)
열팽창 @1500°C	4.70 10-6/°C
열전도도 @1200°C	23 W/m•K
탄성률	240GPa
열충격 저항	매우 좋은