SiC 코팅 배럴 서셉터

VeTek Semiconductor는 LPE 실리콘 에피택시 반응 챔버를 위한 포괄적인 구성 요소 솔루션 세트를 제공하여 긴 수명, 안정적인 품질 및 향상된 에피택시 레이어 수율을 제공합니다. SiC Coated Barrel Susceptor와 같은 당사 제품은 고객으로부터 위치 피드백을 받았습니다. 또한 Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy 등에 대한 기술 지원도 제공합니다. 가격 정보는 부담 없이 문의해 주세요.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 중국의 선도적인 SiC 코팅 및 TaC 코팅 제조업체, 공급업체 및 수출업체입니다. 제품의 완벽한 품질 추구를 고수하여 SiC 코팅 배럴 서셉터가 많은 고객들에게 만족을 얻었습니다. 최고의 디자인, 고품질 원자재, 고성능 및 경쟁력 있는 가격은 모든 고객이 원하는 것이며 우리가 제공할 수 있는 것이기도 합니다. 물론 완벽한 애프터 서비스도 필수적입니다. SiC 코팅 배럴 서셉터 서비스에 관심이 있으신 경우 지금 문의해 주시면 제 시간에 답변해 드리겠습니다!

SiC Coated Barrel Susceptor Application Scenarios

VeTek Semiconductor SiC 코팅 배럴 서셉터는 주로 LPE Si EPI 반응기에 사용됩니다.

LPE(액상 에피택시) 실리콘 에피택시는 실리콘 기판에 단결정 실리콘의 얇은 층을 증착하기 위해 일반적으로 사용되는 반도체 에피택시 성장 기술입니다. 결정 성장을 달성하기 위해 용액 내 화학 반응을 기반으로 하는 액상 성장 방법입니다.

LPE 실리콘 에피택시의 기본 원리는 원하는 물질이 포함된 용액에 기판을 담그고 온도와 용액 조성을 제어하여 용액 내의 물질이 단결정 실리콘 층으로 성장할 수 있도록 하는 것입니다.

기판 표면에. 에피택셜 성장 중 성장 조건과 용액 조성을 조정함으로써 원하는 결정 품질, 두께 및 도핑 농도를 달성할 수 있습니다.

LPE 실리콘 에피택시는 여러 가지 특성과 장점을 제공합니다. 첫째, 상대적으로 낮은 온도에서 수행할 수 있어 열 응력과 재료의 불순물 확산을 줄일 수 있습니다. 둘째, LPE 실리콘 에피택시는 높은 균일성과 우수한 결정 품질을 제공하여 고성능 반도체 소자 제조에 적합합니다. 또한 LPE 기술은 다층구조, 이종구조 등 복잡한 구조의 성장을 가능하게 합니다.

LPE 실리콘 에피택시에서 SiC 코팅 배럴 서셉터는 중요한 에피택시 구성 요소입니다. 일반적으로 온도와 분위기 제어를 제공하면서 에피택셜 성장에 필요한 실리콘 기판을 고정하고 지지하는 데 사용됩니다. SiC 코팅은 서셉터의 고온 내구성과 화학적 안정성을 향상시켜 에피택셜 성장 공정의 요구 사항을 충족합니다. SiC 코팅 배럴 서셉터를 활용하면 에피택셜 성장의 효율성과 일관성이 향상되어 고품질 에피택셜층의 성장이 보장됩니다.

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도	3.21g/cm³
경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10^-6K^-1