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제품
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SiC 웨이퍼 보트
VeTek Semiconductor의 SiC 웨이퍼 보트는 매우 고성능 제품입니다. 당사의 SiC 웨이퍼 보트는 일반적으로 온도가 웨이퍼에 고르게 분포되도록 하고 실리콘 웨이퍼 가공 품질을 향상시키기 위해 반도체 산화 확산로에 사용됩니다. SiC 소재의 높은 온도 안정성과 높은 열 전도성은 효율적이고 안정적인 반도체 처리를 보장합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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SiC 프로세스 튜브
VeTek Semiconductor는 반도체 제조용 고성능 SiC 공정 튜브를 제공합니다. 당사의 SiC 공정 튜브는 산화, 확산 공정에 탁월합니다. 우수한 품질과 장인정신을 갖춘 이 튜브는 효율적인 반도체 처리를 위한 고온 안정성과 열 전도성을 제공합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격을 제공하고 중국에서 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다.
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SiC 캔틸레버 패들
VeTek Semiconductor의 SiC 캔틸레버 패들은 매우 고성능 제품입니다. 당사의 SiC 캔틸레버 패들은 일반적으로 반도체 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼, 화학 기상 증착(CVD) 및 기타 처리 공정을 취급하고 지지하기 위한 열처리로에 사용됩니다. SiC 소재의 높은 온도 안정성과 높은 열전도율은 반도체 공정 공정에서 높은 효율성과 신뢰성을 보장합니다. 우리는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
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ALD 유성 서셉터
ALD 공정은 원자층 에피택시 공정을 의미합니다. Vetek Semiconductor와 ALD 시스템 제조업체는 기판 전체에 공기 흐름을 고르게 분산시키기 위해 ALD 공정의 높은 요구 사항을 충족하는 SiC 코팅 ALD 유성 서셉터를 개발 및 생산했습니다. 동시에 Vetek Semiconductor의 고순도 CVD SiC 코팅은 공정의 순도를 보장합니다. 우리와의 협력 논의에 오신 것을 환영합니다.
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TaC 코팅 가이드 링
VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 가이드 링은 화학 기상 증착(CVD)이라는 첨단 기술을 사용하여 흑연 부품에 탄탈륨 카바이드 코팅을 적용하여 만들어졌습니다. 이 방법은 잘 확립되어 있으며 뛰어난 코팅 특성을 제공합니다. TaC 코팅 가이드 링을 활용하면 흑연 부품의 수명을 대폭 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 SiC 및 AIN 단결정 품질을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.
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TaC 코팅 흑연 서셉터
VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 흑연 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 방식을 사용하여 흑연 부품 표면에 탄탈륨 카바이드 코팅을 준비합니다. 이 공정은 가장 성숙하고 최고의 코팅 특성을 가지고 있습니다. TaC 코팅 흑연 서셉터는 흑연 구성 요소의 서비스 수명을 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 에피택시 품질을 보장할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 문의를 기다리고 있습니다.
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