EPI 수신자

VeTek Semiconductor의 EPI 서셉터는 까다로운 에피택셜 장비 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 흑연 구조는 뛰어난 내열성, 균일한 에피택셜 층 두께 및 저항을 위한 균일한 열 균일성, 오래 지속되는 내화학성을 제공합니다. 우리는 당신과 협력하기를 기대합니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 중국 EPI 수신기, ALD 유성 수신기 및 TaC 코팅 흑연 수신기 전문 제조업체입니다. 그리고 우리의 EPI 서셉터는 중요한 구성 요소입니다.에피택셜 성장반도체 제조 공정에서. 웨이퍼 표면에 고품질의 에피층이 균일하게 성장할 수 있도록 웨이퍼를 지지하고 가열하는 것이 주요 기능이다.

VeTek Semiconductors의 EPI 서셉터는 일반적으로 고순도 흑연으로 만들어지고 탄화규소(SiC) 층으로 코팅됩니다.이 디자인에는 다음과 같은 주요 장점이 있습니다.:

● 고온 안정성: EPI 서셉터는 고온 환경에서도 안정적인 상태를 유지하여 에피택시층의 균일한 성장을 보장합니다.

● 내식성: SiC 코팅은 내식성이 우수하고 화학가스의 침식을 방지하여 트레이의 수명을 연장시킵니다.

● 열전도율: SiC 소재의 높은 열전도율은 가열 시 웨이퍼의 온도 분포를 균일하게 하여 에피택셜층의 품질을 향상시킵니다.

● 열팽창계수 매칭: SiC의 열팽창계수는 흑연과 유사하여 열팽창 및 수축으로 인한 코팅 박리 문제를 방지합니다.