EPI 수신자

VeTek Semiconductor는 중국 EPI 수신기, ALD 유성 수신기, TaC 코팅 흑연 수신기 전문 리더 제조업체입니다.

VeTek Semiconductor의 EPI 서셉터는 반도체 제조 공정에서 에피택셜 성장의 중요한 구성 요소입니다. 웨이퍼 표면에 고품질의 에피층이 균일하게 성장할 수 있도록 웨이퍼를 지지하고 가열하는 것이 주요 기능이다.

VeTek Semiconductors의 EPI 서셉터는 일반적으로 고순도 흑연으로 만들어지고 탄화규소(SiC) 층으로 코팅됩니다. 이 디자인에는 다음과 같은 주요 장점이 있습니다.

고온 안정성: EPI 서셉터는 고온 환경에서도 안정적으로 유지되어 에피층의 균일한 성장을 보장합니다.

내식성: SiC 코팅은 내식성이 우수하고 화학가스의 침식을 방지하여 트레이의 수명을 연장시킵니다.

열전도율: SiC 소재의 높은 열전도율은 가열 시 웨이퍼의 온도 분포를 균일하게 하여 에피택셜층의 품질을 향상시킵니다.

열팽창계수 매칭: SiC의 열팽창계수는 흑연과 유사하여 열팽창 및 수축으로 인한 코팅 박리 문제를 방지합니다.

기본 물리적 특성EPI 수신자:

CVD SiC 코팅 생산공장:

반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요: