반도체 석영 보트

반도체 공정에서는 웨이퍼의 이송이 특히 중요합니다. 반도체 석영 보트는 웨이퍼 운반에 매우 뛰어나며 확산, 산화, CVD 등의 공정에 적합합니다. VeTek Semiconductor는 중국 반도체 석영 보트의 선도적인 제조업체 및 공급업체이며 고객에게 고도로 맞춤화된 제품을 제공할 수 있습니다. 추가 상담을 환영합니다.

문의 보내기

제품 설명

반도체 석영 보트는 반도체 제조 공정에 사용되는 고순도 석영 제품입니다. 주요 기능은 고온로에서 웨이퍼를 운반하고 이송하는 것입니다. 반도체, 광전자공학, LED 등 정밀산업에 널리 사용됩니다. 확산, 산화, CVD 및 기타 공정에 적합합니다.

Semiconductor quartz boat working diagram

제품 특징:

• 고순도: 반도체 석영 보트는 불순물 함량이 극히 낮은 고순도 석영 재료를 사용하여 금속 이온 오염을 효과적으로 방지하며 반도체 공정의 청정 환경 요구 사항에 적합합니다.

• 고온 저항: 내열성이 우수하여 1200℃까지의 환경에서도 장기간 안정적으로 사용이 가능합니다.

• 내식성: 산, 알칼리 등 대부분의 화학 시약에 대한 내식성이 우수하여 CVD로 등 반도체 장비의 화학적 환경에 적응할 수 있습니다.

•좋은 열 안정성: 열팽창계수가 낮아 가열 시 쉽게 변형되지 않아 잦은 가열 및 냉각 공정에 적합합니다.

매개변수	명세서
재료	고순도 석영
외경	필요에 따라 맞춤화
길이	필요에 따라 맞춤화
열 안정성	1200°C에서 안정적인 작동

명세서

• 생산 효율성 향상: 컴팩트한 디자인, 손쉬운 웨이퍼 이송, 향상된 공정능력.

• 오염 위험 감소: 고순도 석영 소재로 공정 중 미량 불순물 오염을 줄여줍니다.

• 긴 수명과 내구성: 고온 및 내식성이 우수하여 고주파수 사용에 적합하여 교체비용이 절감됩니다.