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반도체 석영 벨자
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반도체 석영 벨자

Vetek Semiconductor는 중국의 전문 반도체 석영 벨자 제조업체 및 공급업체입니다. 당사의 Semiconductor Quartz Bell Jar는 반도체 제조 장비의 핵심 부품, 특히 CVD, 확산, 산화 및 PVD 공정에 널리 사용됩니다. Vetek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 첨단 반도체 Quartz Bell Jar 제품과 기술 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 추가 문의를 환영합니다.

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제품 설명

씨앗반도체석영 벨 항아리반도체 공정에서 다양한 핵심 역할을 담당합니다.석영 벨 항아리안정적이고 제어된 반응 환경을 제공할 뿐만 아니라 우수한 열 안정성, 화학적 불활성 및 광학적 투명성을 통해 다양한 공정의 효율성과 정밀도를 보장합니다. 이러한 특성은 또한 다음을 결정합니다.석영 벨 항아리반도체 제조공정에 있어서 없어서는 안되는 부품제품입니다.


씨앗반도체 석영 벨자공정 가스가 고르게 분포되고 제어된 조건 하에서 웨이퍼 표면과 반응할 수 있는 밀봉된 처리 환경을 조성합니다. 그러므로,반도체 석영 벨자일반적으로 CVD, 확산, 산화 등의 공정에서 분위기 조성과 압력을 정확하게 제어하여 필름의 균일성과 재료의 순도를 보장하는 데 사용됩니다.


동시에 석영 재료는 우수한 열 안정성, 고온 저항(반도체 공정의 고온 환경은 일반적으로 1000°C 이상), 가열 및 냉각 중에 안정적인 모양과 크기를 유지하는 제품 특성을 가지고 있습니다. 이는 다음을 결정합니다.석영 벨 항아리확산 및 산화의 고온 환경에서 웨이퍼 표면 온도의 균일성을 완전히 보장하여 증착 또는 확산층의 품질과 균일성을 향상시킬 수 있습니다.


더 중요한 것은,씨앗 Semiconductor 석영 벨 자고온 환경에서 공정 가스와 반응하기 쉽지 않으며 내식성이 강합니다. 이 제품 특성에 따라 부식성 가스를 사용하는 공정(예: 일부 CVD 공정)에서반도체 석영 벨자화학적 안정성을 완벽하게 유지하여 반도체 장치의 오염을 방지할 수 있습니다.


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