반도체 석영 벨자

Vetek Semiconductor는 중국의 전문 반도체 석영 벨자 제조업체 및 공급업체입니다. 당사의 Semiconductor Quartz Bell Jar는 반도체 제조 장비의 핵심 부품, 특히 CVD, 확산, 산화 및 PVD 공정에 널리 사용됩니다. Vetek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 고급 Semiconductor Quartz Bell Jar 제품과 기술 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 추가 문의를 환영합니다.

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제품 설명

씨앗반도체석영 벨 항아리반도체 공정에서 다양한 핵심 역할을 담당합니다. 그만큼 벨자 진공 시스템안정적이고 제어된 반응 환경을 제공할 뿐만 아니라 우수한 열 안정성, 화학적 불활성 및 광학적 투명성을 통해 다양한 공정의 효율성과 정밀도를 보장합니다. 이러한 특성은 또한 다음을 결정합니다.벨 진공 챔버반도체 제조공정에 있어서 없어서는 안되는 부품제품입니다.

씨앗반도체 석영 공정 가스가 고르게 분포되고 제어된 조건 하에서 웨이퍼 표면과 반응할 수 있는 밀봉된 처리 환경을 조성합니다. 그러므로,반도체 석영 벨자일반적으로 CVD, 확산, 산화 등의 공정에서 분위기 조성과 압력을 정확하게 제어하여 필름의 균일성과 재료의 순도를 보장하는 데 사용됩니다.

동시에 석영 재료는 우수한 열 안정성, 고온 저항(반도체 공정의 고온 환경은 일반적으로 1000°C 이상), 가열 및 냉각 중에 안정적인 모양과 크기를 유지하는 제품 특성을 가지고 있습니다. 이는 다음을 결정합니다.석영 벨 항아리확산 및 산화의 고온 환경에서 웨이퍼 표면 온도의 균일성을 완전히 보장하여 증착 또는 확산층의 품질과 균일성을 향상시킬 수 있습니다.

더 중요한 것은,씨앗Semiconductor 고순도 석영 고온 환경에서 공정 가스와 반응하기 쉽지 않으며 내식성이 강합니다. 이 제품 특성은 부식성 가스를 사용하는 공정(예: 일부 CVD 공정)에서 다음을 결정합니다.반도체 석영 벨자화학적 안정성을 완벽하게 유지하여 반도체 장치의 오염을 방지할 수 있습니다.

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