반도체 융합 석영 링

에칭 공정에서 VeTek의 반도체 융합 석영 링의 역할

그만큼반도체 식각 공정웨이퍼의 특정 부분을 제거하여 복잡한 회로 패턴을 형성하는 제조 공정의 중요한 부분입니다. 이 공정에는 가혹한 조건을 견디고 장기간 작동 중에 안정적인 성능을 유지할 수 있는 재료가 필요합니다. VeTek의 융합 석영 링은 이러한 고정밀 요구 사항을 완벽하게 충족하고 효율성과 신뢰성을 보장하도록 최적화되었습니다.에칭 공정.

VeTek의 반도체 융합 석영 링의 주요 장점

1. 비교할 수 없는 순수함

VeTeksemi의 융합 석영 링에는 SiO2가 있습니다.₂순도는 최대 99.995%~99.999%입니다. 이 높은 순도 수준은 공정 오염 위험을 효과적으로 줄이고 에칭 결과의 높은 품질과 일관성을 보장합니다. 반도체 제조에서는 아주 작은 불순물이라도 소자의 최종 성능에 영향을 미칠 수 있으므로 제품 품질을 향상하려면 높은 순도가 중요합니다.

2. 우수한 열 안정성

융합 석영 링은 작동 온도 최대 1250°C, 연화 온도 최대 1730°C 등 극한의 온도 조건에서도 뛰어난 안정성을 유지할 수 있습니다. 이를 통해 구조적 무결성을 유지하고 고온 에칭 환경에서 성능 저하를 방지할 수 있습니다.

3.매우 낮은 팽창 계수

석영 링의 낮은 열팽창 계수는 열충격에 대한 강한 저항력을 제공합니다. 에칭 공정 중 급격한 온도 변화에도 불구하고 석영 링은 여전히 ​​안정성을 유지할 수 있으며 열 응력으로 인해 균열이나 손상이 발생하지 않습니다.

4. 우수한 내화학성

VeTek의 용융 석영 링은 강한 산 및 알칼리 저항성을 가지며 에칭 공정에 사용되는 다양한 화학 시약을 견딜 수 있습니다. 이 기능은 복잡한 화학 환경에서 장기간 안정적인 작동을 보장하고 서비스 수명을 연장합니다.

5. 미세 기포가 없고 수산기 함량이 낮음

VeTeksemi의 반도체 등급 석영 링은 미세 기포와 수산기 함량을 엄격하게 제어하여 고정밀 에칭 공정에서 안정성과 신뢰성을 보장합니다. 과도한 마이크로버블과 수산기 함량은 공정 결함을 유발하고 최종 장치의 성능에 영향을 미칠 수 있습니다.

6. 낮은 열전도율과 우수한 유전 특성

용융 석영 링은 열 전도성과 유전 상수가 매우 낮으며, 손실 탄젠트는 알려진 모든 재료 중 가장 낮은 값에 가깝습니다. 낮은 열전도율은 웨이퍼 과열 위험을 효과적으로 줄이는 반면, 우수한 유전 특성은 우수한 전기 절연을 보장하고 전기 간섭을 줄여 에칭 공정의 전반적인 효율성을 향상시킵니다.

이러한 기능을 통해 VeTeksemi의 융합 석영 링은 반도체 제조에서 안정적이고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하여 고정밀 에칭 공정의 원활한 진행을 돕습니다.

VeTeksemi는 첨단 반도체 Quartz 제품 제조업체 및 공급업체로서 다음과 같은 다양한 Quartz 제품을 제공합니다.반도체 석영 탱크, 석영 웨이퍼 보트, 반도체 석영 벨자그리고융합된 석영 도가니. VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 고급 맞춤형 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다.