TaC코팅이란?

TaC 코팅(탄탈륨 카바이드 코팅)은 화학 기상 증착(CVD) 공정으로 생산되는 고성능 코팅 소재입니다. 극한 조건에서 TaC 코팅의 우수한 특성으로 인해 반도체 제조 공정, 특히 고온 및 강한 부식 환경이 요구되는 장비 및 부품에 널리 사용됩니다. TaC 코팅은 일반적으로 고온, 부식성 가스 및 기계적 마모로 인한 손상으로부터 기판(예: 흑연 또는 세라믹)을 보호하는 데 사용됩니다.

제품 특징 및 장점

매우 높은 열 안정성:

특징 설명: TaC 코팅은 녹는점이 3880°C 이상으로 극고온 환경에서도 분해나 변형 없이 안정성을 유지할 수 있습니다.

장점: 이로 인해 CVD TaC 코팅 및 TaC 코팅 서셉터와 같은 고온 반도체 장비, 특히 Aixtron G5 장비와 같은 MOCVD 반응기 응용 분야에 없어서는 안될 재료입니다.

우수한 내식성:

특징 설명: TaC는 매우 강한 화학적 불활성을 가지며 염화물, 불화물과 같은 부식성 가스의 침식에 효과적으로 저항할 수 있습니다.

장점: 부식성이 높은 화학 물질을 포함하는 반도체 공정에서 TaC 코팅은 장비 구성 요소를 화학적 공격으로부터 보호하고, 서비스 수명을 연장하며, 특히 탄화 규소 웨이퍼 보트 및 기타 주요 구성 요소를 적용할 때 공정 안정성을 향상시킵니다.

우수한 기계적 경도:

특징 설명: TaC 코팅의 경도는 9-10 Mohs로 높아 기계적 마모와 고온 응력에 강합니다.

장점: 높은 경도 특성으로 인해 TaC 코팅은 높은 마모 및 높은 응력 환경에서 사용하기에 특히 적합하며 열악한 조건에서 장비의 장기적인 안정성과 신뢰성을 보장합니다.

낮은 화학 반응성:

특징 설명: TaC 코팅은 화학적 불활성으로 인해 고온 환경에서 낮은 반응성을 유지하고 반응성 가스와의 불필요한 화학 반응을 피할 수 있습니다.

장점: 이는 공정 환경의 순도와 재료의 고품질 증착을 보장하기 때문에 반도체 제조 공정에서 특히 중요합니다.

반도체 공정에서 TaC 코팅의 역할

주요 장비 구성 요소 보호:

기능 설명: TaC 코팅은 극한 조건에서 작동해야 하는 TaC 코팅 서셉터(TaC Coated Susceptor)와 같은 반도체 제조 장비의 핵심 부품에 널리 사용됩니다. TaC로 코팅함으로써 이러한 부품은 고온 및 부식성 가스 환경에서 손상 없이 장기간 작동할 수 있습니다.

장비 수명 연장:

기능 설명: Aixtron G5와 같은 MOCVD 장비에서 TaC 코팅은 장비 부품의 내구성을 크게 향상시키고 부식 및 마모로 인한 장비 유지 보수 및 교체 필요성을 줄일 수 있습니다.

공정 안정성 향상:

기능 설명: TaC 코팅은 반도체 제조에서 안정적인 고온 및 화학적 환경을 제공하여 증착 공정의 균일성과 일관성을 보장합니다. 이는 실리콘 에피택시 및 질화갈륨(GaN)과 같은 에피택시 성장 공정에서 특히 중요합니다.

프로세스 효율성 향상:

기능 설명: TaC 코팅은 장비 표면의 코팅을 최적화하여 공정 전체의 효율성을 향상시키고 불량률을 감소시키며 제품 수율을 높일 수 있습니다. 이는 고정밀, 고순도 반도체 소재 제조에 매우 중요합니다.

TaC 코팅은 반도체 공정 중 나타나는 높은 열 안정성, 우수한 내식성, 기계적 경도 및 낮은 화학 반응성으로 인해 반도체 제조 장비 부품을 보호하는 데 이상적인 선택입니다. 고온, 고순도 및 효율적인 제조 공정에 대한 반도체 산업의 요구가 지속적으로 증가함에 따라 TaC 코팅은 특히 CVD TaC 코팅, TaC 코팅 서셉터 및 Aixtron G5와 관련된 장비 및 프로세스에서 광범위한 응용 가능성을 가지고 있습니다.

VeTek Semiconductor Technology Co., LTD는 반도체 산업용 첨단 코팅 재료를 공급하는 선도적인 기업입니다. 우리 회사는 업계를 위한 최첨단 솔루션 개발에 중점을 두고 있습니다.

당사의 주요 제품으로는 CVD 실리콘 카바이드(SiC) 코팅, 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅, 벌크 SiC, SiC 분말 및 고순도 SiC 소재, SiC 코팅 흑연 서셉터, 예열 링, TaC 코팅 전환 링, 반달 부품 등이 있습니다. ., 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 최첨단 기술 및 제품 개발 솔루션 개발에 중점을 두고 있습니다.우리는 진심으로 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다..