전기 융합 석영

전기 용융 석영은 고순도 SiCl4로 만들어지며 수소-산소 화염에 의해 녹습니다. 제품에 기포가 없습니다. VeTek Semiconductor는 성숙한 전기 융합 석영 생산 능력과 강력한 생산 능력을 갖추고 있으며 고객 요구에 따라 해당 전기 융합 석영 제품을 제공할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 문의를 기다립니다.

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제품 설명

전기융합석영은 고순도 사염화규소(SiCl₄)를 원료로 하고 수소-산소 화염 용해 공정을 통해 정제된 제품입니다. 전기 용융 석영은 내부에 기포가 없으며 성능과 안정성이 뛰어나 열악한 광학 및 반도체 환경에서 장기간 안정적인 사용을 보장합니다. 현재 전기 융합 석영은 반도체 및 광학 분야에서 널리 사용되고 있습니다.

반도체 분야

● 전기 용융 석영은 반도체 웨이퍼의 제조 및 가공에 중요한 역할을 하며 일반적으로 웨이퍼 홀더, 캐리어 및 확산관과 같은 부품으로 사용됩니다. 높은 온도 안정성과 내식성은 고온 및 가혹한 화학적 환경에서 재료의 순도와 안정성을 보장하며, 낮은 팽창 계수는 고온 가공 중에 치수 안정성을 보장합니다.

● 사진석판술 마스크. 반도체 제조에서 석영 도가니 세라믹은 포토리소그래피 마스크의 기판 재료로도 사용됩니다. 고순도와 탁월한 광학 투명성으로 인해 자외선 및 심자외선(DUV) 리소그래피 중에 정밀한 패턴 전사가 가능합니다.

● 가스 확산 튜브 및 반응 챔버. 전기 용융 석영으로 만들어진 확산관과 반응 챔버는 (CVD), 산화 및 확산과 같은 공정에 이상적인 재료입니다. 이러한 구성 요소는 고온에서 우수한 내식성을 가지며 반응성 가스와 반응하지 않으므로 불순물 유입을 방지하고 제품 품질을 향상시킵니다.

광학 분야

● 고정밀 광학 부품. 전기 융합 석영은 높은 투과율과 균일성으로 인해 렌즈, 프리즘, 반사경과 같은 광학 부품을 제조하는 데 자주 사용되며, 특히 높은 투과율과 낮은 분산이 필요한 응용 분야에서 더욱 그렇습니다.

● UV 및 원자외선 광학 응용 분야. 전기 융합 석영은 UV 및 원자외선 대역에서 탁월한 광 투과율을 가지므로 UV 광학 시스템에 특히 적합합니다. 순도가 높고 불순물 함량이 낮아 UV 대역의 광 흡수를 줄여 원자외선 광학 시스템에서 중요한 소재입니다.

● 레이저 광학 부품. 고에너지 레이저 시스템에서 석영 도가니 세라믹은 고에너지 레이저 충격에 대한 저항성과 낮은 복굴절로 인해 레이저 창, 빔 분할기 및 필터와 같은 구성 요소를 제조하는 데 자주 사용됩니다. 고순도 구조는 빛 손실과 열 변형을 방지하므로 고출력 레이저 시스템에 이상적인 선택입니다.