TaC 코팅 가이드 링

중국 내 TaC 코팅 가이드 링 제품의 선두 제조업체인 VeTek Semiconductor TaC 코팅 가이드 링은 MOCVD 장비의 중요한 구성 요소로서 에피택셜 성장 중에 정확하고 안정적인 가스 전달을 보장하며 반도체 에피택셜 성장에 없어서는 안될 재료입니다. 상담을 환영합니다.

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제품 설명

TaC 코팅 가이드링의 기능:

정밀한 가스 흐름 제어:TaC 코팅 가이드 링전략적으로 가스 분사 시스템 내에 위치합니다.MOCVD 반응기. 주요 기능은 전구체 가스의 흐름을 유도하고 기판 웨이퍼 표면 전체에 균일한 분포를 보장하는 것입니다. 가스 흐름 역학에 대한 정밀한 제어는 균일한 에피택셜 층 성장과 원하는 재료 특성을 달성하는 데 필수적입니다.

열 관리: TaC 코팅 가이드 링은 가열된 서셉터 및 기판에 근접해 있기 때문에 종종 높은 온도에서 작동합니다. TaC의 우수한 열전도율은 열을 효과적으로 분산시켜 국부적인 과열을 방지하고 반응 구역 내에서 안정적인 온도 프로파일을 유지하는 데 도움이 됩니다.

MOCVD에서 TaC의 장점:

극한의 온도 저항: TaC는 3800°C를 넘어 모든 소재 중 가장 높은 녹는점을 자랑합니다.

뛰어난 화학적 불활성: TaC는 MOCVD에 사용되는 암모니아, 실란, 각종 금속-유기 화합물 등의 반응성 전구체 가스에 의한 부식 및 화학적 공격에 탁월한 저항성을 나타냅니다.

물리적 특성TaC 코팅:

물리적 특성TaC 코팅
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3*10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)